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原子力显微镜操作说明 一、仪器结构及主要技术指标 1. 仪器结构 AFM-Ⅲ型原子力显微镜硬件组成如图 1 所示，该机集成了应用面最广泛的扫描隧 道显微镜、接触模式原子力、轻敲模式原子力和磁力显微镜等多种工作模式。 图 1 AFM-Ⅲ型原子力显微镜 1. 主机 2. 电子学控制箱 3. CCD 系统 4. X-Y 移动调 5. 设定点调节 6. 反馈调节 2 ．主要技术参数 (1) 配备高精度样品定位功能模块，高精度自适应扫描器的最大扫描范围 50μm×50μm 。 (2) 扫描隧道显微镜 STM：X-Y 向0.1nm；Z 向0.01nm；HOPG 原子定标。 (3) 接触模式 AFM ：X-Y 向0.2nm；Z 向0.03nm；云母晶格定标。 (4) 轻敲模式 AFM ：X-Y 向0.2nm，Z 向0.1nm；DNA 样品验证。 (5) 电流检测灵敏度≤10pA。 (6) 力检测灵敏度≤1pN。 (7) 预置隧道电流：1pA～50nA 。 (8) 偏置电压：-10～+10V 。 二、仪器主要功能 可实现对薄膜、粉体、块状、纤维、生物样品等各种材质样品的表面形貌观察和对磁性 样品的磁畴结构表征，并可对样品的粗糙度、颗粒度、剖面、膜厚等作出分析。 三、操作步骤 1．扫描隧道显微镜（STM）操作步骤 (1) 清洗剪刀、镊子、探针；剪针尖。 (2) 放针尖，把针尖架插入探头。 (3) 放样品到载物台（用镊子操作，注意不要让镊子碰到样品表面）。 (4) 打开电脑，开启控制箱电源。 (5) 打开软件，切换到在线工作模式。 (6) 调节机箱旋钮，设定初始值（设定点、针尖偏压在硬件状态栏中读数，反馈直接在旋 钮上读数）：设定点（电流）1.5—2.0； 偏压-0.15—0.25 ；反馈 1.0—1.5。 (7) 手动粗调使样品靠近针尖。注意门板上的警示字样！！！ 手动调节样品底座高度，用放大镜观察，针尖与样品距离为 0.2-0.3mm 最佳，注意不要 有回调动作，观察“Z 偏置”的指示条是否过头（过头则表明针尖撞上样品了）。为保证结 构刚性请上升完样品后锁住蝴蝶螺母。 (8) 点击“新马达趋近”插件图标 ，开始自动马达趋近。 (9) 点击“新图像扫描”插件图标，开始“恒流模式”扫描。 (10) 保留、保存数据。 (11) 扫描完毕，停止扫描，执行马达复位命令。 (12) 手动调节样品底座，退离针尖，取下样品。 (13) 关闭程序，关闭控制箱电源，关闭电脑。 2 ．接触原子力显微镜操作步骤 (1) 放针尖，把针尖架插入探头。 (2) 放样品到载物台（用镊子操作，注意不要让镊子碰到样品表面。 (3) 打开软件，切换到在线工作模式(此时仪器会自动识别当前针尖类型，软硬件自动切 换到相应工作模式，头部液晶屏也会立即显示出当前工作模式) 。 (4) 调光 ① 粗调探测头部上方两个旋钮，让激光光斑大约打在针尖基座上，配合 CCD 调节。 ② 调探测头部上方两个旋钮，让光斑打在所选针尖的末端，通常用一块纸片放在四象接 收器前判断光斑的位置和亮度，充分利用斜面导致的光斑位置变化。 ③ 粗调探测头部侧面两个旋钮，让光斑基本打在四象接收器中间。 ④ 调节探测头部侧面两个旋钮，并打开“原子力光路调整”插件，将光斑打在四象接收 器正中间。 ⑤ 当激光功率值比较大（大于 3.0）或者扫描精细样品时，可以选择精密模式。 (5) 调节机箱旋钮，设定初始值（设定点在硬件状态栏中读数，反馈直接在旋钮上读数）： ① 设定点（针尖形变）为硬件状态栏中“起伏力”值加上 15—20。 ② 反馈 1.0—1.5。 (6) 手动粗调使样品靠近针尖。注意门板上的警示字样！！！手动调节样品底座高度，用 放大镜观察，针尖与样品距离为 0.2-0.3mm 最佳，注意不要有回调动作，观察“Z 偏置”的 指示条是否过头（过头则表明针尖撞上样品了）。为保证结构刚性请上升完样品