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第六课光学轮廓测量 - 浙江大学机械电子控制工程学欢迎您!
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第六课 光学轮廓测量
居冰峰/刘伟庭
完成人: 居冰峰 杨克己 陈远流 孙韬 王文 白小龙
浙江大学 江苏中晶光电有限公司
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第七节 光学轮廓测量
7.1、研究背景及意义
7.2、自动聚焦的光学原理
7.3、伺服跟踪机构及扫描运动机构
7.4、光学轮廓仪的测量实验
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第七节 光学轮廓测量
7.1、研究背景及意义
7.2、自动聚焦的光学原理
7.3、伺服跟踪机构及扫描运动机构
7.4、光学轮廓仪的测量实验
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7.1 研究背景及意义
非球面和自由曲面能够实现球面无法达到的低像差,能够显著减
小光学系统的体积和质量,同时给设计者带来更大的设计自由度,
近年来在军用和民用领域都有长足发展。
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7.1 研究背景及意义
畸变
紫边
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非球面和自由曲面的优势
更高的成像质量 极大的设计自由度
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7.1 研究背景及意义
自由曲面和非球面面形复杂,精度要求高,对加工和检测带来
极大的考验。
F. Chen, et al.,
www.kyodo-inc.co.jp Opt. Express. 2010 www.carbide.co.jp users.ecs.soton.ac.uk
双锥反射镜 双锥透镜 透射光积分器 反射光积分器
离轴抛物面反射镜 透镜阵列 离轴环焦抛物面反射镜 屋顶分束镜
特点:面形复杂,表面起伏从微米量级到毫米量级。
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7.1 研究背景及意义
自由曲面和非球面测量需求:非接触、高精度、大量程
面形测量需求 测量传感器的特点
金刚石单点车削 以法国STIL位移传感器为例
加工精度高于一
般测量仪器的精
度,测量过程无
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