第六章自动调焦技术.pptVIP

5.测速法 ——利用声频信号反射，测定往返时间、确定距离以自动调焦 三、象散法自动调焦 1.原理 ——利用象散光束形状随离焦变化进行自动调焦 2.调焦误差 △I——反映了被测物面离焦的情况。 ！ 光束焦点偏离量 3.控制系统 ? 反馈系统执行元件——音圈电机 ? 精度——1μm (软铁1+永久磁铁)－线圈4 －电流 －电磁力 －物镜移动 －反馈系统 四、比相法自动调焦 1.原理 ——检测光波相位来进行自动调焦 焦前： C1相位超前 正焦： C1、C2同相位 焦后： C2相位超前 2.焦前、正焦和焦后 3. C1，C2光照度 4. E1(t)与E2(t)的相位差 5.离焦量与相位差的关系 五、图像处理法自动调焦 原理——对成像质量进行图像处理以实现自动调焦； 优点——结构简单，精度较高； 缺点——评价参数确定较困难； 核心问题——确定合适的评价参数。 理想条件下评价参数满足条件： ? 无偏性——物平面与对准平面重合时参数取极值，ε=0。 ? 单峰性——调焦范围内只有一个极点。 ? 极 性——反映离焦的正负方向，便于控制。 ? 重复性——判据函数应具备较陡波峰，即υ要小。 ? 可调性——单调区间要大以保证调焦范围，即η要大。 ? 耐用性——对光强波动、图象噪声等不过分敏感。 图像处理法—— 1. 阈值积分法 2. 高频通带法 3. 微分法 原理——在离焦情况下，对成象模糊程度进行判断，获取离焦信号，经过电路处理得到不同图象灰度分布。 规律——正焦时灰度值最大，离焦时灰度下降。 1.阈值积分法 曲线I清晰度优于曲线II，离焦退化造成灰度平均化倾向减少了阈值ψ之上的灰度和。 图示为两幅聚焦质量不同图象的灰度分布—— 2.高频通带法 原理——基于频域检测方法，其图象轮廓锐度和细节复现性取决于图象的 高频 成分。 途径——采用高通滤波器，适当选择带宽，使对离焦敏感频率成分通过，实现清晰度自动检测。 3.微分法 原理——对图象获取信号进行微分。 具体参见恒川尚微分算法 ? 抛物线区 变换缓慢，达到半焦深时衰减15％，为微分法极限灵敏度。 ? 线性区 线性好，斜率最大，衰减约50％。 ? 双曲线区 变化缓慢，展宽检测范围。 特性曲线—— 三种图象调焦方法比较 ? 阈值积分法： 对被测对象性质敏感，适用较小图象。 ? 高频带通法： 性质稳定，灵敏度较高。 ? 微分法： 在近焦区灵敏度高，远焦区有效检测范围较宽。 六、偏心光束法自动调焦 原理——借助被测物体反射光束，用光电系统检测离焦后光束发生偏离来实现自动调焦。 根据接收面光斑变化所产生光电流变化来对离焦量进行检测，实现自动调焦。 系统原理框图： 调焦方法比较 七、共焦探测法自动调焦 原理——采用共焦技术，使光刻硅片上被测物点与光电传感器接收面共轭，通过比较被照明物点反射到光电传感器接收面光强变化，来进行调焦。光强信号最大时，达到共焦状态，完成调焦。 技术难点—— ? 高精度光电传感器CCD ? 超高速数据采集与处理技术 光电传感器输出须经采集和数字处理。为了实现调焦高精度，需要进一步研究高速数据采集与数字信号处理技术。 ? 高分辨率、高响应速度的调焦驱动执行元件 为了提高工作效率，调焦系统也必须具备高分辨率、高响应速度的调焦驱动执行元件，并研究闭环伺服控制技术。 ? 调焦算法与软件研究 由于调焦系统精度要求高，数据处理速度快、数据量大，因此必须研究高效率和高稳定性的算法及相应专用软件包。 八、其它自动调焦方法 1. MTF法 光学系统离焦时，其传递函数曲线不同。正焦时MTF含高频成分最多。 2.平滑法 ——用硬件电路求相邻象素平均滑度，再对整个象面求和。 3.刀口法 ——已经用于光盘自动调焦，当离焦时光斑旋转，用二象限光电池探测。 4.相位法 ——利用两波长相同但是反向光源，检测信号输出，判断正负离焦情况。 * * 精 密 仪 器 设 计 Design of Precision Instrument 本章内容： § 6.1 调焦技术概述 § 6.2 自动调焦类型 § 6.3 自动调焦方法 § 6.4 调焦技术应用