周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析.pdfVIP

第21卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．21，No．11 2009年11月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Nov．，2009 文章编号：1001—4322(2009)11-1681—05 伊圣振1， 穆宝忠1， 王 新1， 黄圣铃1， 朱京涛1， 王占山1， 丁永坤2， 缪文勇2， 董建军2 (1．同济大学精密光学工程技术研究所，上海200092；2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 集光效率要求．设计了KB显微镜的光学结构，模拟了KB系统的成像质量，用W／B。C周期多层膜反射镜进行 了x射线成像实验，在土100 pm视场内得到优于5肛m的空间分辨力结果。实验与模拟结果的对比表明，加工 精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素．有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制。 关键词：Kirkpatrick-Baez显微镜；X射线成像；周期多层膜；像质 中图分类号：0434．1 文献标志码：A 显微镜成像性