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微分代数方法在静电电子透镜任意高阶像差分析中的应用
第12 期 电 子 学 报 Voi . 30 No . 12
年 月
2002 12 ACTA ELECTRONICA SINICA Dec . 2002
微分代数方法在静电电子透镜任意
高阶像差分析中的应用
程 敏，唐天同，姚振华
（西安交通大学电子与信息工程学院，陕西西安710049 ）
摘 要： 微分代数是计算机数值分析领域中的一个非常有效的方法，它以非标准分析理论为基础，可以实现任
意高阶微分的准确计算. 本文根据微分代数方法的基本原理，将其引入到静电电子透镜的任意阶像差分析的计算中.
通过计算例子，可以看出微分代数方法的计算结果非常精确，精度仅受限于机器精度和算法误差 同时结合微分代数
.
方法可以很方便地计算到任意高阶像差的特性，给出了所研究的透镜的全部五阶像差的分布图形.
关键词： 微分代数；静电电子透镜；像差分析
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
O463 . 1 A 0372-2112 2002 12-1800-04
Differential Algebraic Method for Arbitrary High Order
Aberration Analysis of Electrostatic Electron Lens Systems
， ，
CHENG Min TANG Tian-tong YAO Zhen-hua
（ ， ’ ， ’ ， ， ）
School of Electronics and Inf ormation Engineering Xi an Jiaotong Uniuersity Xi an Shaanxi 710049 China
Abstract ： Differentiai aigebraic method is an effective technigue in computer numericai anaiysis . It can exactiy impiement dif-
ferentiation up to arbitrary high order based on the nonstandard anaiysis theory . The principie of differentiai aigebraic method is appiied
to caicuiate arbitrary high order aberrations of eiectrostatic eiectron iens systems . An exampie is given to show that the numericai re-
suits have exceiient accuracy，
and the accuracy is iimited oniy by the machine precision and the arithmetic errors . T
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