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薄膜x射线测厚仪的研制 development of x-ray thickness gauge for plastic film

第27卷第6期 核电子学与探测技术 No.6 8L NuclearElectronicsDetection 2007 2007年11月 Technology 薄膜X射线测厚仪的研制 靳其兵,陈拉 (北京化工大学自动化研究所,北京100029) 摘要:介绍了用于薄膜测厚的全自动往复式X射线测厚仪的研制,详述了该测厚仪的硬件组成和 测厚的工作原理。该装置已成功运行在双向拉伸聚丙烯(BOPP)薄膜生产线上。 关键词:测厚仪,X射线,薄膜 中图分类号:TP274文献标识码: A 文章编号: 0258-0934(2007)06—1027—03 薄膜厚度控制是宽幅薄膜生产中至关重要 d—E—GX (2) In瓦U 的单元,直接影响到薄膜产品的质量。而测厚 仪是薄膜厚度控制系统中的主要设备。目前国 其中偏差E一土lnA;增益G一三 P II£上 内薄膜生产线用于薄膜成品厚度在线测量的测 在实际测量中,计算机先储存空扫电压U0 厚仪主要是国外进口设备,维护和使用成本很 值,然后根据标准膜的厚度及所对应的测量电 高,而国产测厚仪也存在精度低,响应慢,实时 压计算出肛和A的值,得出偏差E和增益G, 控制效果不好等缺点[1]。此X射线测厚仪的 并储存到计算机作为初始化数据。这时d和U 研制在保证精度和功能的同时,降低了成本。 为单值函数关系,利用检测出透过被测材质后 1测厚原理和实现 射人探测器的射线强度,即可计量出被测材质 的厚度值。 测厚仪的测厚原理是通过探测X射线管 计算机执行的测厚程序如图l,在将模拟 发出的X射线在经过被测物质后的吸收率以 量转换成厚度值后,乘以标定系数k以进行适 测量被测物体的厚度[2]。 当调整,用于终端和上位机显示。若改生产其 其射线强度U与被测材质厚度d之间的 他厚度的薄膜,在生产前重新标定此系数k,并 关系可用下式表示: 存人计算机即可。 “‘ (1)“7 在对不同厚度的薄膜和对应的接收电压曲 掣一A.矿·。 砜 其中U。表示发射源与探测器之间只有空气时, 的薄膜具有很好的线性度。 探测器接收的强度;卢表示被测材质的吸收系 数;A为未知常数。 2 系统结构 上式可改写为: 此测厚系统由X射线发射和接收装置,机 械传动机构,控制系统,终端操作显示机构,模 收稿日期:2006-03-06

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