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薄膜x射线测厚仪的研制 development of x-ray thickness gauge for plastic film
第27卷第6期 核电子学与探测技术 No.6
8L
NuclearElectronicsDetection 2007
2007年11月 Technology
薄膜X射线测厚仪的研制
靳其兵,陈拉
(北京化工大学自动化研究所,北京100029)
摘要:介绍了用于薄膜测厚的全自动往复式X射线测厚仪的研制,详述了该测厚仪的硬件组成和
测厚的工作原理。该装置已成功运行在双向拉伸聚丙烯(BOPP)薄膜生产线上。
关键词:测厚仪,X射线,薄膜
中图分类号:TP274文献标识码: A 文章编号: 0258-0934(2007)06—1027—03
薄膜厚度控制是宽幅薄膜生产中至关重要
d—E—GX (2)
In瓦U
的单元,直接影响到薄膜产品的质量。而测厚
仪是薄膜厚度控制系统中的主要设备。目前国 其中偏差E一土lnA;增益G一三
P II£上
内薄膜生产线用于薄膜成品厚度在线测量的测
在实际测量中,计算机先储存空扫电压U0
厚仪主要是国外进口设备,维护和使用成本很
值,然后根据标准膜的厚度及所对应的测量电
高,而国产测厚仪也存在精度低,响应慢,实时
压计算出肛和A的值,得出偏差E和增益G,
控制效果不好等缺点[1]。此X射线测厚仪的
并储存到计算机作为初始化数据。这时d和U
研制在保证精度和功能的同时,降低了成本。 为单值函数关系,利用检测出透过被测材质后
1测厚原理和实现 射人探测器的射线强度,即可计量出被测材质
的厚度值。
测厚仪的测厚原理是通过探测X射线管 计算机执行的测厚程序如图l,在将模拟
发出的X射线在经过被测物质后的吸收率以 量转换成厚度值后,乘以标定系数k以进行适
测量被测物体的厚度[2]。 当调整,用于终端和上位机显示。若改生产其
其射线强度U与被测材质厚度d之间的 他厚度的薄膜,在生产前重新标定此系数k,并
关系可用下式表示: 存人计算机即可。
“‘ (1)“7 在对不同厚度的薄膜和对应的接收电压曲
掣一A.矿·。
砜
其中U。表示发射源与探测器之间只有空气时,
的薄膜具有很好的线性度。
探测器接收的强度;卢表示被测材质的吸收系
数;A为未知常数。 2 系统结构
上式可改写为:
此测厚系统由X射线发射和接收装置,机
械传动机构,控制系统,终端操作显示机构,模
收稿日期:2006-03-06
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