无限变焦3d形貌仪在几何量检 - 深圳市计量质量检测研究院.pdfVIP

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2017-09-02 发布于天津
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无限变焦3d形貌仪在几何量检 - 深圳市计量质量检测研究院

无限变焦 3D 形貌仪在几何量微纳米检测中的应用 1,2 1 2 1 1 1 郭继平 , 于冀平 , 彭翔 , 方南家 , 王强兵 , 陈照聚（1.深圳市计量质量检测研究院，广东深圳 518055; 2. 深圳大学光电工程学院，教育部光电子器件与系统重点实验室，广东深圳，518060 ）摘要：介绍了 1种新型的几何量光学微纳米测量仪器——无限变焦 3D 形貌仪。简述了该仪器的测量原理，系统分析了其功能与技术特点。结合实际检测需求，介绍了其在几何量微纳米检测中的应用，主要包括长度尺寸、形状、角度、粗糙度等参数的测量。通过对相应实物标准器的测量实验与数据结果分析，给出了该仪器在上述测量应用中各自的精度与误差特性。最后，对可能影响测量结果的因素进行了分析，并给出使用该类光学形貌测量仪进行测量时的建议。关键词：计量学；几何量检测；3D 形貌测量；变焦技术；微纳米检测中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号： 1000-1158 （2012 ）00-0000 The Applications of 3D Micro-morphology Measuring Machine Based on Focus Variation in Dimensional Micro-nano Measurement 1,2 1 2 1 GUO Ji-ping , YU Ji-ping , Peng Xiang , FANG Nan-jia , 1 1 WANG Qiang-bing , CHEN Zhao-ju ( 1. Shenzhen Academy of Metrology Quality Inspection, Guangdong, Shenzhen 518055, China; 2. College of Optoelectronics Engineering, Key Laboratory of Optoelectronic Devices and Systems, Education Ministry of China, Shenzhen University, Guangdong,Shenzhen 518060, China) Abstract ：A new type optical micro-nano dimensional measurement instrument based on infinite focus was introduced. The measuring principle of