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辛基三甲氧基硅烷改性sio2 疏水减反膜的制备 - 无机材料学报
第31 卷 第5 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 31 No. 5
2016 年5 月 Journal of Inorganic Materials May, 2016
文章编号: 1000-324X(2016)05-0499-06 DOI: 10.15541/ji
辛基三甲氧基硅烷改性 SiO 疏水减反膜的制备
2
1 2 1 2 1 2
牛彦彦 , 王晓栋 , 姚兰芳 , 田冰涛 , 冯建斌 , 曹媛媛 ,
张清华3, 沈 军2
(1. 上海理工大学 理学院, 上海200093; 2. 同济大学 物理科学与工程学院, 上海市特殊人工微结构材料与技术重
点实验室, 上海200092; 3. 成都精密光学工程研究中心, 成都610041)
摘 要: 以正硅酸乙酯为前驱体, 氨水为催化剂制备标准SiO 溶胶, 然后在回流前后分别对普通SiO 溶胶添加适量
2 2
的辛基三甲氧基硅烷(OTMS)进行修饰, 得到OTMS 改性SiO2 溶胶。用未进行OTMS 修饰、回流前修饰和回流后
修饰的溶胶分别制备减反膜, 并使用傅里叶变换红外光谱仪、核磁共振波谱仪、紫外–可见–近红外分光光度计、原
子力显微镜和接触角测试仪对薄膜的结构和性能进行表征。结果表明: 回流前添加OTMS 修饰剂制备的改性SiO2
减反膜具有最优异的耐潮湿环境稳定性能, 最高透过率可达99.7% 以上; 与水的接触角达到120°, 在潮湿环境中放
置4 w 后, 透过率只下降0.23% 。
关 键 词: 溶胶–凝胶; 减反膜; 辛基三甲氧基硅烷
中图分类号: O484 文献标识码: A
Preparation of Octyltrimethoxysilane Modified SiO Hydrophobic
2
Antireflective Coating
1 2 1 2 1
NIU Yan-Yan , WANG Xiao-Dong , YAO Lan-F
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