canon stepper specification fpa-3000 iw - …(佳能步进规范fpa - 3000 iw -u2026).pdf

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canon stepper specification fpa-3000 iw - …(佳能步进规范fpa - 3000 iw -u2026)

Canon Stepper Specification FPA-3000 iW Reticle Size: 6”, 0.25”t, [5”, 0.09”t option] Wafer Size: 6”, 8” [ 4”, 5” option ] Magnification: X 1/2 Numerical Aperture: 0.24 Image Field: 50 mm Printing Wavelength: i-line (365 nm) Resolution: 0.80 μm Illumination Lamp: 2.0 kW super-high-pressure mercury lamp Illumination Uniformity: ≤ 1.5 % Alignment Modes: TTL Off-Axis He-Ne TV TTL Off-Axis Broad Band TV Alignment Light Source: He-Ne laser (633 nm) Broad Band (Halogen lamp) Alignment Accuracy: ≤ 0.10 μm (mean + 3 σ) Throughput: ≥ 115 wafers / hour (8”, 60 shot) Wafer Leveling: Die-by-die tilt Global tilt 2153 O’Toole Ave., Suite D ● San Jose, California 95131 ● Tel. (408) 436-2929 ● Fax. (408) 436-2928 email: info@

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