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canon stepper specification fpa-3000 iw - …(佳能步进规范fpa - 3000 iw -u2026)
Canon Stepper Specification
FPA-3000 iW
Reticle Size: 6”, 0.25”t, [5”, 0.09”t option]
Wafer Size: 6”, 8” [ 4”, 5” option ]
Magnification: X 1/2
Numerical Aperture: 0.24
Image Field: 50 mm
Printing Wavelength: i-line (365 nm)
Resolution: 0.80 μm
Illumination Lamp: 2.0 kW super-high-pressure
mercury lamp
Illumination Uniformity: ≤ 1.5 %
Alignment Modes: TTL Off-Axis He-Ne TV
TTL Off-Axis Broad Band TV
Alignment Light Source: He-Ne laser (633 nm)
Broad Band (Halogen lamp)
Alignment Accuracy: ≤ 0.10 μm (mean + 3 σ)
Throughput: ≥ 115 wafers / hour (8”, 60 shot)
Wafer Leveling: Die-by-die tilt
Global tilt
2153 O’Toole Ave., Suite D ● San Jose, California 95131 ● Tel. (408) 436-2929 ● Fax. (408) 436-2928
email: info@
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