精选6真空系统组成元件.pptVIP

* 图55 用在扩散泵上障板的传输几率pr * 图56　具有圆形挡片和一个节流端的障板的传输几率pr * 图57　用在扩散泵上障板的传输几率pr * 图58　圆桶形和方形弯头挡板结构的传输几率 * 课程结束 谢 谢 大 家！ E N D * 冷阱的设计原则为 冷凝部位应具有较大的冷凝面积; 结构为光学密闭的,防止蒸气分子直线通过; 有尽可能大的流导; 冷剂消耗尽量少; 清洗拆装方便。 冷阱的结构型式很多,就材质而言,有金属冷阱和玻璃冷阱两类。 *  冷阱的典型结构 金属冷阱中,盛装冷剂的容器一般用不锈钢制成,在其壁上焊上若干捕集片,以增大低温壁板的表面积和阻挡蒸气分子进入真空室的作用。 * 图39是一种长效冷凝捕集器。 * 图40的结构具有较大流导,可防止蒸气分子向上蠕动。 * 图41是一种高效冷凝捕集器。 * 图42是一种常见多用的冷凝捕集器。 * 图43是另一种金属冷阱,它结构简单,效果较好。 * 图44是一种复合式冷阱。 * 图45是中心带有液氮罐的冷阱。 * 玻璃冷阱采用杜瓦瓶的形式,分为两层或多层,两层之间抽成高真空,以降低热传导损失。玻璃冷阱的型式很多,图46是常见的几种玻璃冷阱的结构。 * 冷阱的抽速 冷凝捕集器对蒸气分子的抽速类似于低温泵的抽速,是指在捕集器中的蒸气压强下,单位时间内凝结在冷却壁上的蒸气体积。 当蒸气压强和温度与冷壁温度及其饱和蒸气压相等时,冷阱的抽速Sl=0。冷阱的实际抽速还受蒸气分子凝结系数的影响,实际抽速总是小于理论抽速。 若设空间水蒸汽和汞蒸气的温度为室温,即293K,冷阱冷凝表面的温度为液氮温度,77K,则冷阱对水蒸汽和汞蒸气的抽速分别为 SH2O=147A　　m3/s SHg=44A　　 m3/s * 2.4 吸附捕集器 吸附捕集器是利用某些物质具有吸附性能(物理吸附和化学吸附)的原理来捕集可凝性蒸气的一种捕集器,常称吸附阱。 它被广泛应用于机械真空泵和扩散泵(或被抽容器)之间的管路上,用来捕集油蒸气,水蒸汽,还有在机械泵中由于转子和泵体之间的摩擦热使油分解(裂变)而产生的轻馏分物质气体。 * 常用的吸附剂有:分子筛(沸石),活性碳,硅胶,Al2O3,P2O5等。 表6是施特恩(Stern)等人研究给出的某些固体吸附剂的数据。 * 图47是一种活性氧化铝吸附阱,其中放置3～10mm的球状吸附剂,挡油效率可达99%,主要用于前级管道。 * 图48是一种分子筛吸附阱。其特点是:分子筛烘烤激活是用放在中心的管状加热器,被吸附的蒸气从接管排出,这样不必移出分子筛,结构又简单操作也方便,这样的吸附阱最高可捕集返流油蒸气的99.7%。 * 图49所示的吸附阱,是在一根长127mm,直径51mm的圆管两端加固定网,管中放置不同的吸附剂,其挡油效果见表7。 * 利用分子筛作为吸附阱吸附剂时,应注意： 分子筛能大量地吸附大气中水蒸汽,而吸附水份后的吸附剂对其它气体的吸附能力大大降低，所以要求其含水量不应超过2%。因此，在使用中应避免分子筛吸附阱经常暴露于大气中,否则，几小时内分子筛就能吸收超过2%的水份。 在使用前应对分子筛进行预处理,如在真空中进行烘烤,除去水份。 再者,重复再激活分子筛会使它的吸附能力下降,当烘烤温度高于350℃,长时间的烘烤将引起吸附能力的迅速退化。 * 2.5 其它捕集器 钛升华阱 离子捕集器 热捕集器 电捕集器 * 钛升华阱 液氮冷却的冷凝捕集器能有效捕集泵液蒸气，但仍会有少量油分子穿过冷阱，另外，油裂解产生大量氢气也不能被液氮冷阱捕集，这是限制扩散泵系统获得更高真空的一个主要因素。 在扩散泵和真空室之间的管路上加装钛升华阱,除能进一步捕集返流的油蒸气分子及其裂解物外,还能捕集氢气,因此,装有钛升华阱的超高真空系统,能获得10-11～10-12 Pa的极限压力。 * 典型钛升华阱的结构型式如图50所示,其捕集气体的原理是利用低温冷凝和新鲜钛钼膜的吸附性能。钛钼升华蒸发、沉积在液氮冷却的壁板表面上能使气体分子的二次反弹最小,所以钛升华阱具有特别有效的捕集效果。 * 离子捕集器 离子捕集器有外加磁场和无外加磁场两种结构 典型的外加磁场离子捕集器的结构型式如图51。器壁最好用水冷却,以增加聚合物的吸附作用,吸附作用随温度降低而增加,所以电极系统也要采用水冷。这种离子捕集器的挡油效果可达99%。 * 无外加磁场的离子捕集器,其结构类似于一只钛泵。 它的阴极是由0.8mm钼丝弯成的矩形框架,其上绕0.11mm或0.22mm厚的钛带,器壁作为阳极并通冷却水。在133～1.33Pa下产生辉光放电,当放电电流足够时,由于正离子轰击阴极钛条,被溅散的钛沉积在器壁上而形成活性吸附表面,由于用水冷却,