平面工艺空间带电粒子探测器的研制 development of planar technology space charged particle detector.pdfVIP

第25卷第6期 核电子学与探测技术 V01．25No．6 Nuclear Nov． 2005 2005年11月 E1ectronics＆DetectlonTechnology 平面工艺空间带电粒子探测器的研制 谭继廉1，靳根明1，段利敏1，王宏伟1，袁小华1，卢子伟1，张金霞1 鲍志勒1，王柱生1，李存瑶1，宁宝俊2，田大宇2，王玮2，张 录2 高 萍3，王 月3，王世金3，朱光武3，梁金宝3 (1．中国科学院近代物理研究所，甘肃兰卅I730000；2．北京大学微电子所．北京100871 3．中国科学院空间科学与应用研究中心，北京100080) 摘要：描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特 偏压下，得到典型的反向漏电流范围为o．57～lo a粒子)。在600c高温下，器件的性能变化在空间应用的允许范围之内。 关键词：平面工艺，离子注A．空间，带电粒子，探铡器 串固分类号： TL814文献标识码： A 文章编号： 0258一0934(20。5)06一0580一04 地球空间存在辐射环境，使得人类在研制 义。 和发射空间飞行器时必须考虑空间辐射环境对 1 平面工艺+离子注入技术制备的半 飞行器所用的材料、电子器件、设备及飞行人员 导体探测器的优点 安全的影响。因此，对于地球空间辐射环境的探 测和研究具有重要意义。在过去近10年间我组 用平面工艺制备核探测器，最早出现差不 多与面垒工艺同时，但由于当时单晶硅材料和 研制的Au—si面垒和si(I．i)探测器由中国科学 院空间科学与应用研究中心王世金、朱光武研 半导体工艺水平的限制，使它从出现以后的20 究室组成望远镜系统成功地应用于我国发射的 年问未能引起人们的重视。直到80年代初，德 “风云”系列卫星，“双星”等多颗卫星和“神舟5 制备半导体MOs器件的工艺成就，解决了一 号”载人飞船，进行了对高能质子、电子按能区 些关键性的工艺难题，使核辐射探测器的性能 划分的通量测量，空间带电粒子的鉴别和磁暴 提高到一个崭新的水平。有关发达国家利用该 探测等工作，并得到了大量有科学价值的数据。 技术成功地制造出带电粒子探测器、7一x射线 由于Au—Si面垒探测器的一些固有缺点，采用 探测器、位置灵敏探测器、Si微条探测器等，还 新的工艺——平面工艺+离子注入来研制新型 促进了ccD器件，蓝光、紫外光探测器及其他 的、性能优良的空间带电粒子探测器，对于地球 一些光电器件的发展。2003年，我们和北大微 空间辐射环境的进一步探测研究具有重要意 电子所合作利用该技术研制成功Si多条探测 器，性能优良，已成功地应用于核物理实验。 收稿日期：2005一06—1O 平面工艺制备的探测器具有其他工艺难以 作者简介：谭继廉(1942一)，男，四川人，中国科学院 具备的优点： 近代物