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Twyman-Green干涉实验 实 验者：何杰勇 合作者：徐艺灵 （中山大学理工学院，光信息科学与技术11级1班 B13） 2014年3月13日 【实验目的】 了解激光干涉测量，及其数字干涉技术的原理、方法、特点和应用场合。 掌握微米和亚微米量级位移量的激光干涉测量方法及应用场合。 实测一个平面光学零件的表面形貌。 了解光学系统波差PSF及调制传递函数MTF的基本物理概念。 掌握利用干涉法测量波差，求MTF的基本方法，及PSF、MTF的评价方法。 【实验仪器】 激光器、反射镜、物镜、半反射镜、成像透镜、CMOS光电探测器、波差测试试件。 【实验原理】 精密位移量的激光干涉测量方法 本实验采用Twyman-Green干涉仪是著名的迈克尔逊白光干涉仪的变形。与后者相比，它具有以下特点： 它使用两列平面波进行干涉，相干得到等厚干涉条纹 Twyman-Green干涉仪只能使用单色光源。 Twyman-Green干涉仪的参考光束和测试光束经过成像透镜聚焦后，受光阑限制，观察者的位置固定。 利用Twyman-Green干涉仪可以研究反射或透射光学元件的表面形貌或波面形状，其原理图如图1所示 为了研究反射物表面形貌或其与标准平面镜的偏差，将反射物放在干涉仪的一支光路上。本实验用He-Ne激光器做光源。激光通过扩束准直系统形成平面波，入射至半反射镜，此平面波可表示