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二维声子晶体与表面声波元件制程之整合
15 3 2006 9 15
農業機械學刊 第 卷 第 期 年 月
二維聲子晶體與表面聲波元件
製程之整合
1 2
顧可斌 ，謝志誠
1. 國立台灣大學生物產業機電工程學研究所研究生
2. 國立台灣大學生物產業機電工程學系教授，本文通訊作者
摘 要
本研究運用創新之方式將表面聲波元件與二維聲子晶體之面型微加工與體型
微加工製程予以整合。其中，將聲子晶體結構以微製程製作於一對微米級表面聲
波元件之發射器與接收器之間，兩端之發射器與接受器係由叉指狀換能器組成，
沈積在層狀壓電薄膜之上。聲子晶體之圓孔直徑為 6.0 m ，深度為20 m ，深寬比
大於 3 ，由於叉指狀換能器所產生之波長為間距之4 倍，為了將頻溝限制在數百
MHz 範圍內，故依所欲產生之表面聲波之中心頻率，將叉指狀換能器之電極間距
訂在3.4 m 至9.0 m 之範圍。本研究在電鍍液中加入添加劑聚乙二醇，成功地完成
微米級、高深寬比之聲子晶體孔洞之電鍍填充。
關鍵詞 ：聲子晶體、表面聲波元件、微機電製程
INTEGRATION AND FABRICATION OF 2D PHONONIC
CRYSTALS AND SURFACE ACOUSTIC WAVE
MICRO DEVICES
1 2
Kebin Gu , Jyh-Cherng Shieh
1. Graduate Student, Department of Bio-Industrial Mechatronics
Engineering, National Taiwan University.
2. Professor, Department of Bio-Industrial Mechatronics Engineering,
National Taiwan University, Corresponding Author.
ABSTRACT
In this paper, we present the integration and fabrication of innovative phononic
crystals integrated with two sets of interdigital transducer (IDT) for frequency band
selection of surface acoustic waves (SAW). The prohibited bandwidth has been
verified by fabricating the phononic crystals between a micromachined SAW resonator
and a receiver. Both the resonator and receiver are composed of IDT electrodes
deposited and patterned on a thin piezoelectric layer. To confine the prohibited
band
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