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招标项目设备名称数量主要技术要求及其他要求-南京信息工程大学
附件：
招标项目设备名称、数量、主要技术要求及其他要求
仪器设备名称 参考型号 单位 数量 主要配置或技术参数 1 高真空电阻蒸发镀膜设备 RZD300型
台 1 详见表后内容 膜厚监控系统 FTM-V 台 1 冷却循环水机 1 衬底水冷组件 1 真空蒸发电源 1 以上所有设备要求免费质保期至少一年。
主要配置或技术参数：（标注“★”指标为核心指标，必须满足，否则，作废标处理。）
一、系统功能：
用于在钙钛矿太阳能电池的背电极镀制金属薄膜。
二、技术性能指标：
1、蒸镀室极限真空度：
★蒸镀室极限真空度：系统漏率：1×10-8PaL/S；
压升率：停泵关机12小时后真空度小于等于Pa；
分子泵机组；
2、 真空室内表面设置防污板，防止蒸镀过程中将真空室污染，防污板便于拆卸；
3、电阻蒸发源：
3.1、数量：2对电极，采用大电流水冷电极，共两个蒸发源，安装于真空室下底上；
3.2、两个蒸发舟样品尺寸：
5.2、工件架：安装在真空室上盖上，适合于不同尺寸或不同类型的平面样品；
5.3、样品架可以连续旋转，转速为0-60转/分连续可调，
6、样品台水冷；
★7、系统具有膜厚监视系统且膜厚测试仪有挡板系统，膜厚分辨率为1挨；
8、设备具有断水断电以及突然暴露大气真空连锁保护功能。
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