基于双折射双频激光器中的调频回馈位移测量研究! - 物理学报.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 +’ * ##( * ， ， ， J32 )+’ I3 ) * K0L8 ##( （ ） ###.*?#@##(@+’ #* @ %#?.#’ ABCA DEFGHBA GHIHBA !##( B81= ) D8M6 ) G3 ) 基于双折射双频激光器中的调频回馈位移测量研究! ! 毛 威 张书练 （清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ ( $ ##’ $ $ 提出了一种基于双折射双频激光器中的调频回馈效应的位移测量系统，并在实验和理论两方面进行了研究) 实验中保持回馈外腔长度不变，将一四分之一波片置于激光器内腔中，调制内腔长度，激光器的中心频率发生改 变，激光器输出强度将发生周期性的变化) 研究发现激光强度曲线的波动频率正比于回馈外腔长度与内腔长度之 比 当该位移测量系统的外腔长度是内腔长度的 倍时，被测物体每移动半个光波长，激光强度波动 次，系统分 ) ’ 辨率可以达到二十四分之一光波长 理论分析与实验结果相符合 研究表明该位移测量系统具有高分辨率、大测量 ) ) 范围、可工作于任意回馈水平等特点) 关键词：调频回馈，位移测量，双折射双频激光器，强度波动频率 ： ， ， ， !## %$# #’*# %++, %’# 馈测量系统仅能得到一路光信号，这使得电子细分 引 言 难以实现) 第二，测量系统对被测物体引起的回馈水 ［ ， ］ 平 ? 要求十分严格，极大地限制了系统的使用范 近年来激光回馈传感技术及其应用引起了国内 围) 系统工作在不同的回馈水平下，得到的激光强度 ［— ］ 外专家学者的广泛兴趣 ’ ) 激光回馈技术 又被称 变化曲线不同) 回馈水平发生变化时，系统不能够工 ［— ］ 为自混合干涉技术( ，与传统的双光束干涉技术 作) 并且由于迟滞、相干猝灭等现象限制了这些位移 相比具有相同的相位灵敏度和深度) 但是基于激光 测量系统不能工作在强回馈区 第三，回馈外腔的准 ) 回馈技术的测量系统仅有一个光学通道