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基于电流检测的镀层厚度测量方法* 侯培国 韩 薇 赵丽颖 崔法毅 (燕山大学电气_72程学院，秦皇岛066004) 摘 要 介绍了一种基于电流检测的镀层厚度测量方法，主要利用对电流的实时检测来得到镀层厚度，并通 过设置基准的处理方法，排除了电路参数的影响。根据本测量系统的特性，该方法不受镀层材料及电流波动等因 素的制约，具有准确度高、电路简单、利于提高批量生产效益等突出特点。 关键词 电流检测；霍尔电流传感器；v／F变换；单片机测频 d — lOOK 一 T／k J( T)．T (2) 0 引言 … ． ＼ ‘ ／ ＼ ， uu ． ． 一 l 镀层厚度测量是电镀层物性检测的重要项目之 式中，S为电镀总面积(在连续电镀端子中，电镀面 一 ，镀层厚度直接影响着产品的性能、质量。常用的 积=(电镀槽长／端子间距)×单个电镀件面积)；P 镀层厚度测量方法很多，诸如平均电流法、库仑称重 为镀层金属密度；t为电镀总时间； 为采样次数。 法、光谱法、射线法、涡流法、电感式磁阻传感器或电 若设 = ，则式(2)NNNN 容法等等，但这些方法原理、工艺、电路结构较复杂， 温度特性差，灵敏度低、准确度不够高。 d +1=8T·∑ J( T) n 一- 1I 本文介绍的镀层厚度测量方法，是直接根据电 =d +87·J[( +1)T] ( ≥1) 镀工艺的经验公式从电流这一电量入手，不采用任 何厚度传感器，通过对电镀工艺经验公式的推导和 d1=8T·J(T) ( =1) (3) 分析，对电镀电流进行实时检测，代替了前人的取平 在其他参数确定的前提下， 为常数，因此可借 均电流值的方法，因此测量结果可以有效的测出在 助电流的检测来达到镀层厚度测量的目的。 电流波动状况下的镀层厚度。此外，该系统采用的 1．2 测量原理 设置基准的测量处理方法，能使电路不会因电路参 所谓基于电流检测的厚度测量方法是在电镀过 数的变化而受影响。因此该测量方法具有原理简 程中，在每个采样时刻对电镀电流进行检测，再利用 单，性能稳定，准确度高等特点。 上述电流与厚度之间的关系，得到该采样时刻厚度 值的一种测量方法。该方法直接利用电流这一电 1 镀层厚度测量原理 量，较之过去常用的厚度传感测量系统、恒定电流测 1．1 理论依据 量系统，结构简单且准确度更高。 根据电镀工艺的经验公式(公式如下)，镀层厚 基于电流检测的厚度测量方法主要是利用电流 度d除与阴极电流效率 及电化当量K成正比 与镀层厚度之间的关系(由式(3)表示)，其原理框图 外，还与电镀电流J在电镀时间t上的积分有下式