华梵大学机电工程学系专题研究成果报告.pdf

93 華梵大學機電工程學系專題研究成果報告 偵檢器保溫瓶組織熱分析與溫度量測(史特靈平台) 指導教授：楊聲震 參與學生：B9002010 劉崇煒 B9002015 廖育聖 一、前言 術發展成熟， 紅外線偵檢器可分為量子效應式 近年來，已可製成兩度空間之平 和熱感式的偵檢器。量子效應式 面式焦面陣列偵檢器。焦面陣列 偵檢器由於能隙受到熱效應的影 偵檢器配合電荷耦合元件或多工 響，故當吸收截止波長小於 2um 器等信號讀取之積體電路元件， 時，紅外線偵檢器可以在室溫下 可以滿足高解析度及高靈敏度的 操作 ，而當吸收截止波長大於2um 需求，並有使系統具備輕薄短 時則需要使用冷卻系統將紅外線 小、高可靠度等優點。 偵檢器冷卻到低溫之下操作，此 時紅外線偵檢器就必須配合冷卻 二、研究動機與目的 系統裝入真空保溫瓶內，在配置 國內自製之攜帶型焦面陣列偵檢 致冷器後整個系統我們稱之為冷 器熱像機其真空保溫憑恃與史特 卻偵檢器組合。所以為了將多數 靈致冷器做成 IDCA。在這樣的一 的功率訊號現由真空保溫瓶中接 個整合的裝置中 ，FPA偵檢器及其 出，還需降低偵檢器操作的溫 讀取信號晶片是置於保溫瓶內真 度，降低四週圍背景輻射的影 空環境中之冷卻平台上，熱可經 響，會針對不同之偵檢器特別設 由冷卻平台由致冷氣的冷凝桿將 計真空保溫瓶。 之帶走，以使偵檢器各部分的溫 早期的紅外線熱像機分為單獨使 度保持在 80K 左右。我們都知道 用一個感測元件以二維機械掃描 適當的設計可減少真空保溫瓶的 或使用線列感測元件並配合機械 外熱流入，並可增加致冷器與保 掃描方式讀取熱像訊號。單獨感 溫瓶間的熱交換效率，亦可減少 測元件之偵檢器必須利用二維雙 致冷器的大小、重量以及輸入電 軸之光學掃描器產生熱像畫面， 能，如此一套小巧的整合型可攜 而線列偵檢器則必須使用一維單 帶式的熱像機就可用充電電池做 軸之光學掃描器產生熱像畫面。 長時間的操作。 這類偵檢器畫面顯示速度較慢， 而且有體積大、耗電、可靠度較 製作一套好的致冷器與偵檢器保 低等缺點 。到了80 年代 ，由於積 溫瓶的組合，除了考量如何維持 體電路製程技術及半導體材料技 真空保溫瓶高度真空及冷屏障設 1 計來減少熱輻射、隔絕致冷器之