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2017-07-26 发布于浙江
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长行程直线电机的迭代学习控制.pdf

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长行程直线电机的迭代学习控制

第 27 卷第 24 期中国电机工程学报 Vol.27 No.24 Aug. 2007 2007 年 8 月 Proceedings of the CSEE ©2007 Chin.Soc.for Elec.Eng. 0258-8013 (2007) 24-0092-05 TN305.7 A 470 40 文章编号：中图分类号：文献标识码：学科分类号： ⋅ 长行程直线电机的迭代学习控制 1 1 1 2 2 石阳春，周云飞，李鸿，李介明，黄永红 (1．华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心，湖北省武汉市 430074； 2．长沙理工大学，湖南省长沙市 410076) Research on Iterative Learning Control to Long Stroke Linear Motor 1 1 1 2 2 SHI Yang-chun , ZHOU Yun-fei , LI Hong , LI Jie-ming , HUANG Yong-hong (1. National NC System Engineering Research Center, Huazhong University of Science Technology, Wuhan 430074, Hubei Province, China; 2. Changsha University of Science Technology, Changsha 410076, Hunan Province, China) ABSTRACT: An nm-level positioning precision is required 种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度。 in the process of scanning and exposing the wafer stage of 关键词：光刻机；工件台；直线电机；迭代学习控制；前馈 lithography. A six degree of freedom(DOF) complex movement 补偿 system can meet the requirement by using rough movement of long stroke linear motor and tiny movement of short stroke 0 引言 Lorentz motor. In order to reduce the movement scope and 现代电子技术的高速发展，要求IC芯片的集成 acceleration of Lorentz motor, the tracking precision of linear 度越来越高，超大规模集成电路的线宽已进入超亚 motor must be improved. An open- closed-loop D-type iterative 微米范围，同时也对其专用生产设备──光刻机的 learning controller(ILC) is proposed to improv