二氧化硅光波导环形谐振腔背向散射特性.pdfVIP

第 37 卷 　第 1 期 中　国　激 　光 Vol . 37 ,No . 1 20 10 年 1 月 CHIN ES E J OU RNAL O F LAS ERS J anuar y , 20 10 　　文章编号 :(20 10) 0 10 10505 二氧化硅光波导环形谐振腔的背向散射特性 马慧莲 　鲍慧强 　金仲和 (浙江大学信息与电子工程学系 , 浙江 杭州 3 10027) ( ) ( ) 摘要 　谐振式微型光学陀螺 RMO G 是利用光学萨格纳克 Sagnac 效应产生的谐振频率差来测量旋转角速度的 一种新型光学传感器 ,光波导环形谐振腔是谐振式微型光学陀螺的核心敏感部件 。利用谐振腔内单点反射简化处 理 ,结合多光束干涉叠加原理 ,得出了谐振腔背向散射输出谱线的表达式 。在此基础上 ,利用激光器输出光频率进 行扫描 ,对研制的保偏二氧化硅光波导环形谐振腔芯片进行了谐振曲线和背向散射谱的测试 ,得到了描述谐振腔 背向散射特性的背向散射系数 ,实际测试曲线和理论仿真曲线吻合较好 。 关键词 　集成光学 ; 环形谐振腔 ; 二氧化硅光波导 ; 背向散射 中图分类号 　TN 629 . 1 ; TN 814 + . 6 　　　文献标识码 　A 　　　doi : 10 . 3788/ CJ L 20 10370 1. 0 105 B a c k s c a t t e r i n g i n a S i l i c a Op t i c a l W a v e g u i de R i n g R e s o n a t o r Ma Huilian 　B ao Hui qian g 　J in Zh on gh e ( Dep a r t m e n t of I n f or m a t i on Scien ce a n d Elect r on ic En gi n eer i n g , Zhej i a n g U n i ver si t y , Ha n gz h ou , Zhej i a n g 3 10027 , Ch i n a) A bs t r a ct 　Resonat or micr o op tic gyr oscop e ( RMOG) is a novel op tical r ot at ion sensor w hose r esonant f r equency is chan ged due t o t he Sagnac eff ect . Op t ical rin g r esonat or is t he key sensin g element in RMOG. Usin g onep oint r eflection t o simp lif y t he dist ribut ed backscat t erin g p henomenon in t he r esonat or , combinin g t he overlapp ing met hod of multip le beams , backscat t erin g sp ect r um is t heor et ically f or mulat ed . On t his basis , w hen t he laser f r equency is sw ep t linearly