微连接原理与方法MicrojoininginElectronicsPackaging.PDFVIP

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微连接原理与方法MicrojoininginElectronicsPackaging

微连接原理与方法 Microjoining in Electronics Packaging 王春青教授/工学博士 哈尔滨工业大学电子封装技术专业 1991年~2009年 电子封装的定义 由微元件再加工和组合构成微系统及工作环境的制造 技术 微元件 半导体IC、光电子、MEMS、微传感器、RF、生物芯片等 序言 电子封装技术专业 微连接的定义 微连接 当被连接的材料尺寸非常微细时,在传统焊接方法中可忽略 的因素可能对连接过程和质量起到关键的作用,为适应这些 作用的影响而设计的新的连接方法。 特点 要求的特殊性 电性能优先;可靠性 结构的特殊性 从力学的角度可能不合理 材料的特殊性 薄膜、厚膜、丝、球、箔、复合结构 过程的特殊性 极短的时间、瞬态 序言 电子封装技术专业 微连接的重要性 互连-Interconnection 机械和电气连接 器件功能的一部分 造成失效的主要原因(70%) 不平衡过程 继续演化 不合理的力学结构 序言 电子封装技术专业 微电子制造模式 微电子制造科学与技术 微电子学 子 电 微 装 封 术 技 与 学 科 微电子材料科学与技术 电子制造专用设备 序言 电子封装技术专业 电子器件的封装与组装 封装的作用:元件互连;机械固定;合适的环境;电源与信号分配。 序言 电子封装技术专业 先进封装 晶圆级封装 分割-封装→封装-分割 立体封装 芯片/基板→芯片/芯片 系统封装 制造器件→制造微系统 序言 电子封装技术专业

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