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微连接原理与方法MicrojoininginElectronicsPackaging
微连接原理与方法
Microjoining in Electronics Packaging
王春青教授/工学博士
哈尔滨工业大学电子封装技术专业
1991年~2009年
电子封装的定义
由微元件再加工和组合构成微系统及工作环境的制造
技术
微元件
半导体IC、光电子、MEMS、微传感器、RF、生物芯片等
序言 电子封装技术专业
微连接的定义
微连接
当被连接的材料尺寸非常微细时,在传统焊接方法中可忽略
的因素可能对连接过程和质量起到关键的作用,为适应这些
作用的影响而设计的新的连接方法。
特点
要求的特殊性
电性能优先;可靠性
结构的特殊性
从力学的角度可能不合理
材料的特殊性
薄膜、厚膜、丝、球、箔、复合结构
过程的特殊性
极短的时间、瞬态
序言 电子封装技术专业
微连接的重要性
互连-Interconnection
机械和电气连接
器件功能的一部分
造成失效的主要原因(70%)
不平衡过程
继续演化
不合理的力学结构
序言 电子封装技术专业
微电子制造模式 微电子制造科学与技术
微电子学
子 电 微
装 封
术 技 与 学 科
微电子材料科学与技术
电子制造专用设备
序言 电子封装技术专业
电子器件的封装与组装
封装的作用:元件互连;机械固定;合适的环境;电源与信号分配。
序言 电子封装技术专业
先进封装
晶圆级封装
分割-封装→封装-分割
立体封装
芯片/基板→芯片/芯片
系统封装
制造器件→制造微系统
序言 电子封装技术专业
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