发生灾害后进入无尘室作业之指南.PDF

发生灾害后进入无尘室作业之指南 2017年6月19日 日本半导体制造装置协会 服务专业委员会 前言 本指南针对发生灾害后进入无尘室作业时应遵守的程序加以规定。本指南中所定义的灾害，是指涉及地震、台风、雷击等自然灾害 ，以及火灾、瓦斯泄漏、危险化学品泄漏等人为灾害（异常事件）。 发生灾害后欲进入无尘室作业前，请注意应搭配检查表（以下称为初步检查表），遵守本指南。若本指南中有未涵盖的个别事项， 请遵守初步检查表中的预防措施。 基本原则及决策准则 以下事项为发生灾害后欲允许进入无尘室作业时应遵守的准则，以保障人命为最优先。针对进入无尘室或在其中作业，应在客户使 用本指南及初步检查表实施安全确认后，由现场经理下达最终决策，并征求各公司的安全主任、现场人员、客户总公司的同意。此 外，为确保现场安全，一旦现场人员察觉潜在危险时，可不经客户批准即停止作业并撤离现场。 请注意此前提在于现场人员实施客户要求的作业，且已获得安全主任的允许进入无尘室。 1.整体环境标准 (1) 政府机构未发布疏散劝告或命令。 (2) 当发生地震时，应根据政府机构的官方通知确保安全。 (3) 应确保前往现场的交通工具及住处的安全措施。 (4) 应确保通信方法。 (5) 客户拥有的建筑物或附近地区应具备处所供食宿。 (6) 附近地区应具备医疗设施。 2.在客户的建筑物内的作业标准（在无尘室、sub-fab厂区、辅助设施等） 双方应协议充分确保作业区的安全，以及确保疏散路线。 双方的协议应基于使用初步检查表，并取得以下事项的确认结果。 (1) 作业区应具备足够照明。 (2) 一般排放及酸性物质、碱性物质、有机物等的排放应维持正常运作。 (3) 空调应维持运作，或无尘室内应通风良好。 (4) 安装在无尘室内的安全装置（瓦斯侦测器、火灾警报器等）应维持正常运作，且其测量值应低于安全标准的允许值。 (5) 作业区的地板或天花板不应漏水或液体泄漏。 (6) 应确保整体格局、通道、疏散路线、紧急出口等，且现场应清楚公告信息及导引。此外，应有现场广播及通信方式可供使用。 (7) 应避免会对作业区的格栅板造成损害的物品，并且避免掉落的潜在危险。 (8) 应避免物品从作业区的天花板或上线中的无人搬运车上掉落的潜在危险。 (9) 应确保通道及作业区。 ※本指南仅作参考之用，不能完全保证灾害发生时的人身财产安全。对于遵循本指南实施作业导致自身或第三方发生任何事故或伤害、或财产损失，SEAJ不承担任何责任。 灾害发生后的净室内作业 事前检查表（紧急入内用）客户实施用 1/2 日期: 年 月 日（ ） 时 分 【表面】入内前的确认事项 公司名称： 建筑物： 确认者（客户）签名： 确认事项 大项目 中项目 确认要点 确认栏 注意事项 ①入内范围确认 即将入内的范围是否明确? 1）入内范围确认 ②作业区域的确认 进行作业的区域是否明确? 2）灾情确认 ①掌握灾情 是否掌握了灾情的状况（人和设施）? 1.安全确认 ①避难场所的位置 是否已确