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第33卷第06期 煤 炭技 术 V01．33No．06
2014年06月 Coal J岫．2014
Technology
doi：10．13301，j．cnki．ct．2014．06．063
基于FBG传感技术的微机电甲烷传感器木
张渤
(西安科技大学通信与信息工程学院，西安710054)
摘要：提出了一种基于布拉格光栅应变传感技术的微机电甲烷传感器结构。该结构由光波
导和布拉格光栅应力传感器，及双端固定微型双金属梁、甲烷无焰燃烧催化剂薄膜层、温度补偿光
栅等主要结构组成。通过数值模拟得出波长漂移量与甲烷浓度间的线性关系，与传统催化型甲烷传感
器比较，该微结构可以通过MEMS加工工艺制造，具有体积小、功耗小、易校准、便于组网等优点。
关键词：甲烷传感器：微机电：光栅：双金属梁
中图分类号：吼12．1文献标志码：A
MEMSMethaneTra脚d眦erB嬲edonFBGSe璐0r
z]日【ANGBo
of science锄d
Co衄吼ic撕on柚d l0054，ClliIla)
(Depa衄lent Info皿ation，Xi’蜘UIIiV吣畸ofTechnolo盱，)【i’蚰7
Abstr挑t：NovelIIlicroMethalle吼nsduceris basedonFBGstrajnsensor
proposed technolog)r．，11le
micmthe珊ometalcantileverwith FBGsensorisused themetll肌e
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makesnamelesscombustionon出e filmtouched诵tIlthe珊ometalcantilever．Thewholemicro
catalyst
stmcturebe铀ricatedMEMSmaIlufacture wit}lthesmall
caIl by maJlyadv肌tages
mutiIlg，which百ves
volume．
words：methaIle cantilever
Key tmsducer；MEMS；b瑚Igggrating；‰瑚ometal
0引言 燃烧时，所释放出的热量不同，将使双金属梁中间
目前在煤矿中使用的瓦斯浓度检测系统还是 位置发生微小的弯曲，改变内应力大小，FBGl的波
采用传统的热催化燃烧、半导体、光干涉等检测原 长漂移量与应力成线性变化。FBG2是与FBGl结构
理进行检测。都存在体积大、造价高等缺点。本文 一致的光栅传感器，但不受任何力的作用，用于
提出一种基于布拉格光栅(FBG)应变传感原理，利用FBGl所处环境温度的补偿，如图1所示。
MEMS加工工艺制造的微型甲烷气体浓度传感器。
1 光栅甲烷气体浓度检测原理
随着光学检测和MEMS制造技术的发展和结
合，尤其体积小、制造成本低、精度高、抗电磁干扰 图1
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