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第10章气相沉积
第十章 气相沉积技术;一、概述
二、物理气相沉积（PVD）
三、化学气相沉积（CVD）
;一、概述;第十章 气相沉积技术;物理气相沉积（PVD）;特 点;真空蒸镀;真空蒸镀;装饰性：在塑料上蒸镀铝后染色——塑料金属化
纺织物中的闪亮的彩色丝也使镀铝后变色的塑料丝；包装塑料薄膜上蒸镀铝，装饰和防潮作用，食品、香烟、服装、礼品的包。
光学膜：手表玻璃和手机视窗玻璃，镀铬为银白色，镀金为金色；汽车后视镜、反光镜，镜面发射。;离子镀;特点
优点：离子能量高，膜基界面形成较宽的伪扩散层，膜层附着力强。
缺点：对基板损伤大，基板温度高；设备结构复杂，投资大，操作繁琐。
发展：多弧离子镀技术;离子镀;溅射镀 ;特点
a、镀膜层粒子的能量比蒸发镀高1～10eV，比离子镀低，附着力较强，而对基板损伤小
b、靶材可以是纯金属，化合物，可以沉积
c、多靶系统:制作复合膜;溅射镀 ;化学气相沉积（CVD）;化学气相沉积（CVD）;化学气相沉积（CVD）;化学气相沉积（CVD）
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