衍射光栅机械刻划过程的有限元仿真分析.pdfVIP

第29卷第5期 计算机仿真 2012年5月 文章编号：1006—9348(2012)05—0103—04 衍射光栅机械刻划过程的有限元仿真分析 石广丰，史国权，张垒垒．姜伟平 (长春理工大学．吉林长春130022) 播要：研究关于衍射光栅机械刻划的槽彤精度控制问题。衍射光栅机械刻划是一种在超精密刻划机上利用金剐石刀具对光 栅铝膜进行微细挤压的成彤技术．表面成彤精度要求岛。但是由于光栅机械刻划下艺复杂．刻划过程中铝膜材料的成形机 3D 理难以掌握．内部流动规律和变彤特征无法认识。为了解决上述闷题。首先根据锻膜压痕实验建忘拟实条件．在Deform 金属成形仿真环境_F通过实体模型导人时的缩小比例功能实现尖劈别划刀的微刃n建模，并建立了机械刻划光栅铝膜的有 限无仿真模型。通过和实验槽彤结果的对比，验证r仿真模型的精确性，最终获得了销膜