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工艺卫生 1。此道工序的工艺卫生在金属离子和油污方面和前清洗相似。 2。水痕的问题，硅片在经过清洗之后一定要彻底烘干以后才能做PECVD，不然会出现明显的水痕迹。 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 电池 PECVD镀SiN薄膜的目的： SiN薄膜作为减反射膜可减小入射光的反射； 在SiN薄膜的沉积过程中，反应产物氢原子进入到SiN薄膜内以及硅片内，起到了钝化缺陷的作用。 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 太阳电池表面的深蓝色SiN薄膜 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 电池 SiN薄膜的物理性质和化学性质： 结构致密，硬度大 能抵御碱金属离子的侵蚀 介电强度高 耐湿性好 耐一般的酸碱，除HF和热H3PO4 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 SiN薄膜的优点 优良的表面钝化效果 高效的光学减反射性能（厚度和折射率匹配） 低温工艺（有效降低成本） 含氢SiNx:H可以对mc-Si提供体钝化 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 入射光在SiN薄膜表面发生一次反射，在SiN薄膜和硅片界面发生第二次反射，通过适当选取SiN薄膜的厚度和折射率，可以使一次反射光和二次反射光相抵消，从而减小了反射。沉积SiN减反射膜后，硅片表面对入射光的平均反射率可进一步减小到5%左右。 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 电池 PECVD： =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积的镀膜技术； PECVD借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能，大大降低薄膜沉积所需的温度。 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 PECVD的优点： 节省能源，降低成本； 提高产能； 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减； PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的低温化（450℃）。 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 测试设备 椭偏仪 工艺卫生 1）在该工序中，要注意保证硅片被覆盖减反膜后表面没有明显人为污染，手指印，污，落灰等。 2）在该工序中因为硅片表面操作频繁，切不能造成硅片表面的划痕等机械伤害。 PECVD镀膜设备 PECVD镀氮化硅（SiN）薄膜 电池 丝网印刷与烧结 电池 电池 丝网印刷的目的： 印刷背面电极浆料，银铝（Ag/Al）浆，并烘干； 印刷背面场浆料，铝浆，并烘干； 印刷正面电极浆料，银浆，并烘干。 烧结的目的： 燃尽浆料的有机组分，使浆料和硅片形成良好的金属电极。 丝网印刷与烧结 烧结对电池片的影响 相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化 铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严重的会起铝珠。 背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外线的响应。 * zhoumj1005@ * zhoumj1005@ 正面电极 背面电极 丝网印刷与烧结 电池 印刷浆料的过程 丝网印刷与烧结 电池 丝网印刷设备，每台印刷机后都有一台烘干炉 丝网印刷与烧结 电池 烧结炉 丝网印刷与烧结 电池 测试与分选 * zhoumj1005@ 将太阳电池接上负载。在光照条件下，改变负载的电阻，太阳电池的输出电压V、输出电流 I 和输出功率 P 将随之变化。记录下 V、I、P 的变化情况，并将数据绘成曲线，将得到上图的曲线，称为太阳电池的电流－电压特性。 晶体硅太阳电池的电流－电压特性 电池 电池 短路电流 Isc ：负载的电阻为零时，太阳电池的输出电流； 开路电压 Voc ：负载的电阻无穷大时，太阳电池的输出电压； 最大功率点 Pm ：太阳电池的最大输出功率； 最大功率点电流 Im ：输出功率最大时，太阳电池的输出电流； 最大功率点电压 Vm ：输出功率最大时，太阳电池的输出电压； 太阳电池的性能参数 电池 转换效率η ：太阳电池的最大输出功率 Pm 与入射光功率的比值，是衡量太阳电池性能的最重要参数； 填充因子 FF ：太阳电池的最大输出功率 Pm 与短路电流 Isc 、开路电压 Voc 乘积的比值； 串联电阻 Rs ：主要是太阳电池的体电阻、表面电阻、电极导体电阻、电极与硅表面的接触电阻组成。 并联电阻 Rsh ：为旁漏电阻，它是由硅片的边缘不清洁或硅片表面缺陷引起。