碱溶性光敏预聚物的合成与光固化性能研究 - 北京玛格泰克科技发展 .pdf

: 孟 泉 等 碱溶性光敏预聚物的合成与光固化性能研究 　 １０９５ 碱溶性光敏预聚物的合成与光固化性能研究∗ , , , 孟 泉 沈春晖 王 义 高山俊 　 　 ( , ) 武汉理工大学 材料学院高分子复合材料系 湖北 武汉 ４３００７０ : , ( ) 、 、 摘 要 以三苯基膦作催化剂 苯酐 与丙烯酸 酐 异氰酸酯 丙烯酸羟乙酯合成了不同结构的碱溶性 　 　 PA ( ) , ( , , 羟乙酯 HEA 反应 合成了碱溶性光敏预聚物 PAＧ 感光树脂 用于光成像抗蚀刻油墨 并研究了光固化速 [] ). , . ９ HEA 通过对反应体系酸值的测定 研究了反应时 度与碱显影性能 HuiＧHsian Liu等 使不同醇酯化 g 、 、 , , 间 配比 催化剂用量及投料方式对预聚物转化率的影 羟基苯乙酸 再将酯化产物与不同单体共聚 最后与 ４Ｇ ; , , , 响 通过将光引发剂加入预聚物 经紫外光固化后 考 琥珀酸酐反应 从而制得基于含羧基酚醛树脂酸催化 、 、 . . 察了固化膜的耐酸性 碱液剥膜 热稳定性等性能 结 脱水交联的负片光抗蚀剂 , , , , 果表明 在反应时间为 与 配比 以上反应均是通过二步反应或多步反应合成 由 ３hHEA PA １∶０．７５ ( ) , ; , 催化剂含量 １％ 质量分数 时 转化率较高 固化膜能 环氧基团开环与丙烯酸反应生成环氧丙烯酸酯 再加 , 、 . 在 １０％盐酸中耐酸３０min以上 且在 １％ NaOH溶液 酸酐 TDI等其它基团反应引入碱溶性基团或改性 , , , 中２min内可完全脱膜 在 ３２．６~１３７℃有较好的热稳 反应过程较复杂 且产物中会残留较多小分子 影响感 .