管式微滤膜在半导体废水中应用 文档.pdfVIP

NT-Micro 管式微滤膜 在半导体废水回用上的应用 NT-Micro 膜在半导体废水回用上的应用 ●概述 半导体广泛的应用在各个领域，从电玩、手机到航空、航天，半导体的身影无处不在的深 入到人们生活的各个领域。 我国是生产半导体的大国，半导体的生产工艺要求高，涵盖光刻、精密切割和研磨等各种 复杂工艺。生产半导体的过程会产生大量的废水，一个规模型的半导体厂每天的废水量可以在 1 万方。并且半导体生产具有要求的水质高，排放水不容易处理等特点。半导体废水含有各种 过度性质的金属如硅、锗等，同时还含有较高含量的氟，其废水兼有难以处理的较高浓度的 COD 。 随着生活品质的逐步提高，政府对工业企业的要求也越来越高，节能减排也越来越普及， 为了达到政府的要求，废水回用就不得不提上了日程。 ●半导体废水的传统处理方式 废水处理的前处理及分流在整个的废水处理工程中起着不可缺或的作用。在半导体生产 工艺所产生的废水中，NT-Micro 膜重点处理的是如下两类废水： 1. 切割研磨废水 2. 酸碱废水 进行相应的分类后就是对分类后的废水进行相应的处理过程，从传统的角度来讨论，基本 上所有的处理过程都离不开最终沉淀的这个方式。我们用图谱对半导体的预处理及沉淀的过程 做如下的描述： 切割研磨废水 酸碱废液 集水池 滤液 集水池 NaOH PAC pH 计 中和池 胶凝反应池 机械搅拌 污泥 气浮池 沉淀池 1 TO 污泥池 NaOH PAM pH 计 中和池 混合反应槽 机械搅拌 污泥 沉淀池 沉淀池 2 H SO TO 污泥池 2 4 pH 计 污泥、浮渣 中和池 污泥池 排放取样计量池 气动隔膜泵 达标排放 压滤机 ●传统工艺在处理半导体废水方面的特点： 1. 处理工艺比较长，需