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　　关于MOCVD自动化云端系统开发的探讨 卢铃 开发晶照明（厦门）有限公司 摘要： MOCVD是LED外延片生产最为关键的设备，不仅决定LED产品的性能，也决定LED的生产成本。公司研发的MOCVD自动化云端系统可实现MOCVD的配方修正、品质检测管理、制成品量测分析，将设备回馈的生产信息进行收集整理，建立完整的可回溯的生产档案，确保多台MOCVD机台生产的外延片光均性、寿命等指标保持一致。取代长期延用的人工控制晶体生长过程，解决了专业技术人员匮乏、产品一致性低、合格率较难控制等问题。 一、背景论述 随着LED 战略性新兴产业投资的持续升温，目前国内大量引进了MOCVD 机台，导致人才配置、生产制程、操作人员等方面都没办法保证现有MOCVD 的有效启动运转。MOCVD 设备是外延片生长及芯片生产最为关键的设备，不仅决定LED 产品的性能，而且也决定LED 的生产成本[1]。对于MOCVD 来说，未来LED 产业高速发展和外延片大规模生产特别是通用照明的高速发展主要靠低成本和高良率推动，提升生产力和提升产品性能将成为未来趋势，因而规模化、智能化、性能优越的新设备将更具发展空间。 目前国内MOCVD 机台逐年大规模的增加，外延片生长技术的人才显得尤为缺乏。国内外延片行业普遍存在技术人员不足和工艺水平偏低的问题，引进的MOCVD