精密机械之三维大尺度量测技术专辑前言-国家度量衡标准试验室.DOC

精密機械之三維大尺度量測技術專輯 前言 劉惠中 精密機械產業以工具機為代表產業，不論是新興科技或是傳統產業，所有生產或製程設備之製造都必須使用工具機，應用範圍廣及汽車、航太、鐵路及3C電子產業等；台灣工具機以高性價比之單機產品在全球佔有一席之地，困境是製造技術還是處於傳統的製造技術階段，若與歐美日之高階工具機相比較，除了尺寸加工精度無法於與德、日相比，系統整合能力及製造服務化之應用尚待提升，無法掌握終端客戶的需求及使用情況；主要競爭對手除了韓國外，大陸本土廠商也快速崛起。中高階以上中高階以上工具機為我國未來發展主要方向，重要是提升工具機加工機台之長期穩定性，主要克服問題題包含機械設計、主軸能力、零組件之精度、結構穩定性、組裝準確度與總合精度之補償，大部份問題是與檢測技術有關，如目前在組裝上最大問題，是缺乏適當量具，在組裝時，機台無法動作，無法使用雷射干涉儀，對於較大結構無法量測垂直度或平行度；或是零組件公差要小，組裝後的餘隙相對小，持續使用後磨耗造成之精度影響就會變小，但零組件尺寸量測技術提升才能確認加工準確度是在公差範圍內。 韓國與中國廠商競爭下，中價位機種只能以高規低價競爭，相對利潤明顯降低，我國加工機台之製造能力已達到一定水準，由製造產品加工機提升為製造加工機零組件之機器設備，或由3C產品加工機提升為汽車、航太組件加工之機器設備，在加工準確度與加工範圍能力都要升級，如台灣加工設備也已往大尺寸機台製造發展，如崴立或亞崴之1 m至6 m以上龍門銑床、刨床等，高橋與漢翔都有購入6 m以上之三次元座標量床。國內機械產業面臨轉型契機，傳統量具除了三次元座標量床(coordinate-measuring machine；CMM)具三維形貌量測能力，其他只能量測一維，如最常用雷射干涉儀、雷射三角探頭或分厘卡等，因此發展三維及大尺度量測技術有迫切需求。 在工具機之檢測上，除了量測總合精度外，就是工件加工檢測，工具機完成加工件後，再以CMM進行量測，通常應用在工具機驗收，或是在大量製造時之抽檢，確定加工準確度是一致，才繼續加工工件，所以CMM在機械工廠製程上，會扮演產品件測與加工機台驗證與查核角色，國家度量衡標準實驗室參與過由韓國辦亞太計量組織(Asia Pacific Metrology ProgrammedAPMP) APMP L-K5國際區域比對比對量測與實驗室達成一致性。” APMP L-K5三次元關鍵比對”報告中，針對比對使用設備、量測方法、比對件的穩定性測試與比對結果有詳細介紹。 對於大尺度結構量測，缺少標準件或量測儀器是主要問題，如要量測 1 m以上機台垂直度，就有相當的困難度，少有1 m以上之直角規，或有直角規，但是直角規重量太重，需使用機器搬運，也因太重會造成結構變形，而造成量測誤差；所以使用光學式量測技術是可行方案，如採用高精度之直角稜鏡，建立垂直度之標準直角光束，再使用雷射干涉儀量測感測裝置與標準直角光束的距離，即可量測出垂直度；但垂直度只能算是二維量測術，若要量測出三維尺度，早期是使用雷射追蹤儀(Laser Tracker)，量測原理是以極座標定位方法量測出三維座標，最近發展出雷射追跡儀(LaserTRACER)，量測原理是採用空間多點(multi-lateration)量測技術，有如全球定位系統(global positioning system；GPS)使用多條線交會定出空間一點座標，在〝三維空間誤差檢測追蹤量測技術〞文中，詳細介紹雷射追蹤儀與雷射追跡儀之量測原理與理論推導，座標定位方法量需使用三維空間，並比較兩種儀器之特性差異性。雷射追蹤儀量測準確度較差，但使用上較快速與方便，雷射追跡儀準確度高，但要四具雷射追跡儀才能得到即時位置座標，只用一台雷射追跡儀時，需透過分時(time sharing)技術來進行量測，所需量測程序複雜與耗時，但優異之量測準確度，適合應用在高精密機械定位量測，在〝 LaserTRACER於工具機空間幾何誤差量測與補償之應用〞文中，介紹雷射追跡儀應用於工具機之幾何誤差量測與補償技術，與應用於工具機檢測規範(ISO 230)量測。 三維大尺度量測技術中，雷射追蹤儀與雷射追跡儀都是使用雷射干涉儀量測距離，雷射干涉儀在量測實務上，最主要缺點是量測距離是以積分方式進行，才能量測起點到終點距離，所以量測過程中，雷射光束一旦被遮住，就要重新進行量測；使用雷射干涉儀之大誤差源是光路死區(dead zone)造成，尤其在無溫控環境下，參考反射鏡與量測反射鏡之距離愈長，量測誤差愈大；為了克服雷射干涉儀之量測上缺點，雷射絕對測距技術是長度計量領域一直在發展技術；雷射絕對測距技術可應用在超高精度工具機之結構監控，並可補償結構變形所造成誤差；在〝精密加工定位用之快速測距技術〞文中，介紹國家度量衡標準實驗室使用