传感器第05章电感式传感器0603.pdf

5 LM LM (1) (2) (0.01 m0.1 ) (3) (0.050.1%) (4) 5.1 5.1.1 L δ ∆δ W2 L , RM RF +Rδ R M W2 : RM : RF : Rδ : di L RF ∑ 2 µS W i i L , RM RF +Rδ R M W2 : 2δ δ R R : δ M µ S 0 ∆δ RF : Rδ : δ : d : 7 µ µ π× 1