[电子信息]集成电路工艺和器件的计算机模拟 IC TCAD技术概论.pdf

作 者 简 介 ， ， — 阮刚 复旦大学教授 微电子及固态电子学专业博士生导师 年在 ．１９５６ １９５８ ， 北京大学加入五校半导体联合教研室 参与创办我国第一个半 ， 导体专业．１９６０年初在复旦大学领导一个青年科研组 研制成 、 、 功了我国第一批锗集成电路 长期从事半导体器件工艺 物理 ． ， ， 模型和模拟的教学和研究工作 已合作编译出版专业书 本 ５ 单独和合作发表论文 余篇 曾是美国 大学高级访 ２００ ． Ｉｌｌｉｎｏｉｓ ， ， 问学者 新加坡 理工大学访问教授 德国 技 Ｎａｎ ａｎ Ｃｈｅｍｎｉｔｚ ｙ ｇ 术大学顾问教授及德国 Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ微集成研究所高级科技 顾问． 前 言 　　 自 年 发明集成电路（ ）以及 年 发 １９５８ ＪａｃｋＳ．Ｋｉｌｂ ＩＣ １９５９ ＲｏｂｅｒｔＮ．Ｎｏ ｃｅ ｙ ｙ ， ， 明实用的硅 以来 历经 余年的发展 的功能和应用有了惊人的增强和扩 ＩＣ ５０ ＩＣ 展， 年全球基于 的半导体产业产值已超过 亿美元， 已成为人类社 ２００５ ＩＣ ２２００ ＩＣ 会进入信息时代的主要物质基础． 集成电路工艺和器件的计算机模拟又称集成电路工艺和器件技术的计算机辅 （ ）， ， 助设计 英文简称为 它是 设计和 虚拟制造的重要组成部分 是 ＩＣ ＴＣＡＤ ＩＣ ＩＣ 工艺和器件特性快速分析的有力工具 应用 能缩短 工艺和器件的 ＩＣ ． ＩＣＴＣＡＤ ＩＣ ， ， 开发