一种新型三自由度微定位新方法 New technique of three DOF precision positioning.pdfVIP

己凸|1年7月 ■一 第3口卷第7期_—●__——●●————__|-舅* 一种新型三自由度微定位新方 万佩鲞直薛联段莹 重庆大学光电工程掌睫 重庆400044 摘l：设计了一种基于压电陶瓷的三维馓定位系统．通过12个空间分布的压电陶瓷微驱动器及4个工作平台的配合．实现 x、y、z向的精密位姿控制。阐述丁散定位原理、建立了载物台位姿与压电陶瓷做驱动器伸缩量之间的关系．介绍了系统误差 来潭以丑般定位装置的构造。该研究可望为一些高科技领域的撇进给提供实用新技术。 美鲁铘：压电陶瓷；空间定位；微位移 中瞳分娄号：TH703文献标识码：A New ofthreeDOF technique precisionpositioning wanPel XueLlan QinLall DuanYlIlg of (c“lege A埘r哪lAmicro based is EK)F posltlon硼gsystem o“p蚴electr㈣ramlcsproposed，whichc…髓li…．y，z pfecIslon 12PzTa衄tofsand4 be帆n positjonuⅢby tlle 0f of and山e PZTactuatorsa…ho帅，andthee㈣urce，andthe∞—onn甜lonof posltlonplatlo珊s dlspI㈣nt thedei∞afe Imr。ducedIt br fjeldsuch洲crofeedmotⅢL pr州des呻cucal…t眈}lIliqueh镕h-tech posmomng；删㈣ement K日w伸电：ple∞dect…一。}s阳ce 0引言 控制；工作台a用于z向位姿控制咀及进行由工作台c与 b对工作台d进行x、y向位姿控制时带来的z向位姿误 随着工业技术的进步，精密定位技术在半导体微电子 差。压电陶瓷驱动器由压电陶瓷．压电陶瓷过载保护器旧 电路制造、光学组件生产、超精密加工、材料表面原子结构 与运动铰链组成，三者一体加工．提高了系统允许载荷，保 分析、生物医学工程等领域得刊了广泛的应用“]。目前， 证了运动传递的连续性、无摩攘、高精度。 精密定位系统从驱动形式有压电陶瓷式”、音圈电机式、 直线电机式、电磁线圈式啪等。其中压电搬动工作台由于 其高的定位精度被广泛应用于各种擞定位系统中““。 本文设计了一套精密的三自由度散定位系统。它采 用空间并联结构，利用压电胸瓷驱动器逐层控制各工作 台t将各层工作台的位姿变化传递给目标工作台，最终实 现对目标工作台x、y、2向三自由度的位姿控制。 l微定位工作台工作原理 l_l徽定位工作台