衍射方法监控键合线断裂.PDF

试验研究 衍射方法监控键合线断裂 肖 勇，逄玉俊，葛晓宇，高淑芝 　 （沈阳化工大学信息工程学院，辽宁　１１０１４２） 摘 要：在制造行业中，键合线广泛用于连接半导体芯片焊点和封装接线端。随着工厂自动化 　 程度的不断提高，急需配置智能传感器来监控键合线的断丝故障，可是芯片和键合线的发展趋势是 越来越精细，这给当前的键合线监控方法带来了严峻的挑战。提出了基于单缝衍射的精细键合线 监控方法，通过观测特定衍射条纹的光强变化来判断键合线的存在与否。试验结果表明，对于直径 为２５ ｍ或更精细的键合线，此方法可以达到理想的监控效果。 μ 关键词：键合线；衍射条纹；光强；光电阵列 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１１５．２８ＴＮ２１９ Ａ １０００６６５６２０１１１２００８６０４ 　　 　　　 　　　 犇犻犳犳狉犪犮狋犻狏犲犕犲狋犺狅犱犳狅狉犅狅狀犱犻狀犠犻狉犲犅狉犲犪犽犪犲犕狅狀犻狋狅狉犻狀 犵 犵 犵 ， ， ， 犡犐犃犗犢狅狀 犘犃犖犌犢狌犑狌狀 犌犈犡犻犪狅犢狌犌犃犗犛犺狌犣犺犻 犵 （ ， ， ， ） ＣｏｌｌｅｅｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ Ｓｈｅｎａｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｌｉａｏｎｉｎ １１０１４２ Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｇ ｙ ｇ ｙ ｇｙ ｇ ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｉｎｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎ ｉｎｄｕｓｔｒ ｂｏｎｄｉｎｗｉｒｅｓａｒｅｕｓｅｄｔｏｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｔｈｅａｄｓｏｆａｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｃｈｉｔｏ ｇ ｙ ｇ ｐ ｐ ， ｔｅｒｍｉｎａｌｓｏｆａ ａｃｋａｅｃｏｎｔａｉｎｉｎ ｔｈｅｃｈｉ．Ｗｉｔｈａｄｖａｎｃｅｏｆｆａｃｔｏｒ ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ ｉｔｉｓｎｅｃｅｓｓａｒ ｔｏｉｎｔｒｏｄｕｃｅ ｐ ｇ ｇ ｐ ｙ ｙ ｉｎｔｅｌｌｉｅｎｔｓｅｎｓｏｒｔｏｍｏｎｉｔｏｒｂｒｅａｋａｅｏｆｂｏｎｄｉｎ ｗｉｒｅ．Ａｓｃｈｉｓｉｚｅａｎｄｄｉａｍｅｔｅｒｏｆｂｏｎｄｉｎ ｗｉｒｅｂｅｃｏｍｅｓｍａｌｌｅｒ ｇ ｇ ｇ ｐ ｇ ， ， ａｎｄｓｍａｌｌｅｒｃｕｒｒｅｎｔｍｏｎｉｔｏｒｉｎｍｅｔｈｏｄｓｅｎｃｏｕｎｔｅｒａｌｏｔｏｆｌｉｍｉｔａｔｉｏｎｓ．Ｉｎｔｈｉｓａｅｒａｍｅｔｈｏｄｔｏｍｏｎｉｔｏｒｂｒｅａｋａｅ ｇ ｐｐ ｇ ， ｏｆｆｉｎｅｂ