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第2章 MEMS设计中尺度效应
第2章 MEMS设计中的尺度;1. 尺度的基本概念尺度问题的;用于微系统的设计尺度规律第一种;微系统设计中常涉及的物理量：体;下图是一个实心长方体的例子。a;例题6-1 计算当尺寸减;解： 沿y-y轴转动微镜;当尺寸减小50％时，镜子的惯性;2. 刚体动力学中的尺度动力中;(1)动力中的尺度 刚体从一位;令v0＝0，由式(6.3)可得;(2) Trimmer力尺度向;根据上式可得加速度a时间t簧垄;功率密度P/V0 由W＝F×s;由上列一系列的公式，可得出一系;例题6-2 当ME;解： 已知重量 ： W;3.静电力中的尺度 静电势能的;(1)研究静电势能的尺度规律如;根据Paschen效应，平行板;从图6.5可知： 当d5μm;当工作范围d10μm时，可知;(2)研究静电力的尺度规律 ;例题6-3 如图6.6所示;解： 当平板电极没充电时保;4.电磁力的尺度本节主要介绍电;电动势是驱动电子通过导体的力驱;将上式带入驱动电荷能量表达式，;恒定电??流动情况，则电磁力表示;5.电学中的尺度电是MEMS和;从物理规律得出电的尺度规律：电;电场能：其中 ε为电介;由电阻功率损失的表达式可知，由;式中说明了能量供给系统尺度减少;结论：从上面可知： 尺寸(;6. 流体力学尺度问题 本节;如图6-7中的粘度表示为 μ为;通过平均速度和通道的截面积可得;流体的体积流动速率Q可表示为根;压力梯度为可计算出长为L的毛细;例题6-4 当圆管的半径;观察结果：显然，这对尺度减小的;将上式用于例题6-4得如下结果;7.热传递中的尺度微系统的热传;热传导中的尺度热通量尺度在亚微;(1)热传导中的尺度 热通量尺;更一般的固体热导率的形式为由式;固体在亚微米尺度下热导率k 的;在瞬态热传导分析中，傅立叶数的;例题6-6、6-7固体的尺寸减;解：1）根据固体在亚微米尺度内;（2）热对流中的尺度介观和微观;由第五章可知，热传递系数主要与;在亚微米范围内热对流的尺度 ;气体的热导率与气体分子的平均自;有效热通量计算公式为 其中ΔT;结束慰喊撑朱艾头黍僳极伸鹰坍吊
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