用于发动机活塞环表面涂层的CrN薄膜.PDFVIP

第 23 卷 第 3 期 中 国 表 面 工 程 Vol.23 No.3 2010 年 6 月 CHINA SURFACE ENGINEERING June 2010 102 中 国 表 面 工 程 2009 doi: 10.3969/j.issn.1007−9289.2010.03.021 用于发动机活塞环表面涂层的 CrN 薄膜* 陈 涛，王泽松，周 霖，邓建伟，田灿鑫，何 俊，刘传胜，付德君 （武汉大学加速器实验室，武汉 430072 ） 摘 要：设计了一套电子源辅助中频孪生非平衡磁控溅射装置，在单晶硅、高速钢、硬质合金衬底上制备了 CrN ，研 究了气体流量、衬底偏压、