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第 卷第 期 光 子 学 报
38 11
Vol.38No.11
年 月
2009 11 ACTAPHOTONICASINICA November2009
电子倍增 CCD倍增要件研究
张灿林,陈钱,尹丽菊
(南京理工大学 电子信息工程与光电技术学院,南京 210094)
摘 要:讨论了信号载流子倍增寄存器( )结构及其工作原理,在此基础上建立了电子倍增
CCM
的碰撞电离模型 通过对 倍增结构的研究发现实现倍增的三个必要条件:适中的倍增级
CCD . CCM
电场、适当的浅掺杂浓度以及与电子碰撞平均自由程相当的倍增距离 通过建模研究均匀场强中增
.
益情况表明增益因子为0.01时对应的偏置电压接近 EMCCD所用倍增电压.
关键词: ;电子倍增;片上增益;静态感应器件
EMCCD
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TN223 A 1004421320091127715
0 引言 1 犈犕犆犆犇的结构及工作原理
为了提高传统 CCD的信噪比,通常采用带有经 1.1 犈犕犆犆犇的结构
过改良的读出放大器降噪,或是在 CCD前端加载像 现在使用全固态电子倍增技术的 CCD生产厂
增强器使信号在到达 之前得到放大 虽然这两 家主要有英国的 公司和美国的 公司,他们
CCD . E2V TI
种方法都有效地减少了读出噪音、提高信噪比,但是 生产的EMCCD基本结构与传统的帧转移 CCD大
各有缺陷 前者是以降低读出速度为代价,只能应用 致相同,主要包括成像区、存储区和读出放大器三部
.
在对速度要求不高的系统中 后者 技术比较 分, 在读出寄存器和读出放大器之间加入
. ICCD EMCCD
成熟,在高速读出的情况下也能得到高质量的图像, 了数百个增益寄存器,信号电荷在水平转移过程中
但 CCD芯片前端的像增强器使整个系统结构复杂 实现片上增益.EMCCD的基本结构如图1.
[]
化,成本升高,容易损坏 1 .
随着 CCD的不断发展,本世纪初电子倍增
( , )问世,其
CCDElectronMultilin CCDEMCCD
py g
[]
2
自带的倍增寄存器 ,使得微小信号在转移过程中
实现片上增益,从而克服读出放大器的噪音低限,所
以此类 CCD在不需要任何附
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