超声波技术在溅射镀膜材料检测中的应用.PDF

超声波技术在溅射镀膜材料检测 中的应用 王卫芳 （苏州工业职业技术学院 江苏 苏州 215104） 摘 要： 超声波技术在溅射镀膜用材料方面的检测采用了先进的非接触式无伤检测的方式，且通过声波的回收处理后可对靶材粘结材料内部结合情况作出明 确判定。介绍超声波检测的原理，实际检测的图例，解决此类材料极高的外观表面要求， 内部结合质量要求。 关键词： 超声波；溅射镀膜；检测 中图分类号：TB4 文献标识码：A 文章编号：1671－7597（2010）1110113－01 1 溅射技术的发展与材料 需要根据材料厚度，以及声波在不同材料中的音速来设定时间进行测量及 近年来， 国内半导体产业，平面显示器产业不断成长，尤其是国内 收集回波。公式为时间S=2×板厚／音速。 4.5代，5代及其以上世代TFT镀膜线的投资，溅射用靶材近年来已经成为一 但超声波测定也有一定的局限性，如果测量面与超声波的输入方向垂 个在国内金属行业极为热门且被广泛讨论与关注的名词。而与此同时， 由 直，则可以测量。但当测量面与输入方向不垂直时，则会产生散射。测量 于对中国国内市场的看好，世界各国溅射靶材供应商已经争先恐后在国内 面粗糙的物体时，表面凹凸不平或缺陷大小比材料表面粗细要小的缺陷在 设立代理商，办事处，或直接投资开设工厂进行生产。而国内的材料厂商 原理上不能测量。其主要原因为：1、声波的发射与接受机能的限制，非平 及研究所也不甘市场及产业的沦陷，纷纷加紧研发，投产，抢占市场有利 坦表面声波发射时会产生散射，声波接收器无法接受到回波。2、量程范围 点。一时间靶材市场风雨欲来， 国内俨然成了各大厂商群雄逐鹿的主战 的大小限制。测量比材料表面还要小的缺陷犹如使用大网拉小鱼。原理上 场。 无法测量。 在实际使用中，溅射用靶材（Target）在真空腔体中是不可以直接装 4 缺陷时波形示意图（如图2） 配使用的，需要使用一种结合材料（一般为In），与装配用部分称为背板 波形正常情况下在水与TG表面处，出TG表面与进粘结材处，出粘结材 进行粘结结合，粘结检查合格后将背板在真空腔体中进行装配，靶材进行 料处三处会形成正常波形。如果粘结处不成功，则会产生气穴，而声波在 磁控溅射镀膜。因为材料价值高昂，材料生产及粘结过程复杂，一次合格 遭遇空气层后会进行100%的反射，通过接受器的回收，在示波器上产生如 率要求极高，在靶材的生产粘结过程中对于粘结部分品质的检查手段就尤 图2所示的状况。根据发射波形的反射情况，再经过系统的收集，整理，输 为重要。在这里介绍超声波技术在靶材检测当中的应用。 出显示后即可对TG与BP的粘结结合面进行合格性判断。 2 超声波的音波特性 2.1 极性 超声波从低密度 (软)穿透至高密度 (硬)介质时，反射波所呈现的是正 波大于负波，我们称其为极性不变；反之，若超音波由高密度 (硬)介质穿 透至低密度 (软)介质时，反射波即改变为负波大于正波。负波大于正波分 为两种情况：① 因材质关系由硬到软负大于正；② 因超声波在空气中无 法传导的特性，所以遇到空气时(DELAMINATION)会产生负大于正的波形， 且负波振幅会远大于正波。 2.2 反射波的强度 因超声波有低密度介质穿透至高密度介质时才可以用极性观念来判断 也就是模型表面（DieSurface）的好坏，若介质时由硬到软时，很容易与 图2 正常波形与缺陷波形 Delamination混淆，因此要用到强度的概念，以环氧树脂为例，此一介面 波形正常情况下在水与TG表面处，出TG表面与进粘结材处，出粘结材 DieAttach 因材料 关系一般 称 为 “