传感器原理及应用技术_刘爱华第二版_2 应变式电阻传感器.ppt

例2-8 裂纹探测应变计 R 裂纹大小 图2-29 裂纹探测应变计的电阻变化特性曲线 图2-30 测量电路 R1 R2 E 裂纹 应变计 图2-28 裂纹探测应变计 裂纹 例2-9 重量的自动检测--配料设备 比较 重量设定 原材料 原理：弹簧-力-位移 -应变片-电阻 例2-10 煤气包储量检测 煤气包 钢丝 原理：钢丝-收线圈数 -电位器 -电阻 例2-11 玩具机器人（广州中鸣数码 ） 原理：电机-转角 -应变片 -电阻 电阻应变式传感器的应用：测力 标准产品 例2-12 桥梁固有频率测量 例2-13 电子称 原 理 将物品重量通过悬臂梁转化结构变形再通过应变片转化为电量输出。 例2-14 冲床生产记数和生产过程监测 例2-15 机器人握力测量 例2-16 振动式地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。 为了提高测量精度，传感器可采用种种补偿措施消除有关误差。例调零电路。 电桥2(补偿电桥)串接在应变片传感器的输出和测量仪表之间，通过调节补偿电桥中的电位器W，改变其输出电压U02，用U02来抵消传感器的零点偏移输出电压U01，因此调节W可使传感器在空载时输出电压U0为零。 直流电桥的调平方法 （a） （b） （c） W C D A R2 R3 R4 R1 B R2 R1 R3 R4 B W D A R2 R3 R4 R1 C R2 R1 R3 R4 W2 C D A R2 R3 R4 R1 B R2 R3 R4 W1 图2-15 交流电桥平衡调节 USR R2 R4 R1 R3 USC ~ C1 C2 C3 C4 USR R2 R4 R3 USC ~ R1 半导体应变电桥的非线性误差很大，故半导体应变电桥除了提高桥臂比、采用差动电桥等措施外，一般还采用恒流源. 2.4.3 恒流源电桥 I R2 R4 R1 R3 USC 图2-14 恒流源电桥 ← I1 I2 若右图所示的电路输入 阻抗较高，则有： I1 ( R1+R2 )=I2 ( R3+R4 ) I = I1+ I2 1. 电桥输出电压与电阻变化量的关系 解该方程组得: 输出电压为: 若电桥初始平衡，且R =R2 =R3=R4=R，当第一桥臂电阻R1 变为R1+ΔR1 时，电桥输出电压为： 若满足ΔR1R1 ，则 输出电压与ΔR成正比，即与被测量成正比。 输出电压与恒流源供给的电流大小、精度有关，与温度无关。 使用恒流源的非线性误差为： 2. 非线性误差 若采用恒压源，非线性误差为： 2.5 固态压阻式传感器 2.5.1 压阻式传感器的结构与工作原理 用集成电路工艺技术，在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻，组成电桥。当不受力时，电桥无电压输出；受力时，电桥失去平衡，输出与应力成正比的电压。 压阻式传感器的工作原理是基于半导体材料的压阻效应：当半导体（单晶硅）材料某一轴向受外力作用时，其电阻率会发生变化。详见本书2.1.3中的半导体应变片的工作原理。 2.5.2? 压阻系数 对半导体材料 对金属材料 电阻相对变化量 1. 压阻系数的定义 半导体电阻的相对变化近似等于电阻率的相对变化，而电阻率的相对变化与应力成正比，二者的比例系数定义为压阻系数。 压阻系数为: 影响压阻系数因素：扩散电阻的表面杂质浓度和温度。扩散杂质 浓度NS增加时， 压阻系数就会减 小。压阻系数与 扩散电阻表面杂 质浓度NS的关系 如图。 2. 影响压阻系数的因素? 120 140 100 80 60 40 20 1018 1019 1020 1021 表面杂质浓度NS (cm-3) P型Si(πl) N型Si(-πl) ? πl(×10-11m2/N) T=24℃ 压阻系数与表面杂质浓度NS的关系  1—N-Si膜片 2—P-Si导电层 3—粘贴剂 4—硅底座 5—引压管 6—Si 保护膜 7—引线? 2.5.3 固态压阻器件 利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，再装上引线接点。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件。 1 2 3 4 5 6 7 2.6 应变式传感器应用举例 2.6.1 力（荷重）传感器 例2-1. 柱式力传感器 图2-19 柱式力传感器 F F 面积S -ε1 +ε2 -ε