高真空L型阀.PDF

鋁製 高真空L型閥 RoHS 採用鋁製本體 伸縮囊可以更換 ・均一的烤焙溫度 ・輕量・輕巧化 由於伸縮囊Assy可以更換降低了維修成本與減少了 ・外洩空氣量少 ・重金屬污染少 廢棄物的產生。 ・對氟素氣體的腐蝕性強 法蘭尺寸組合變化 法蘭尺寸 洩漏量 使用壓力 Pa ・m3/s以下 選配 KF K Pa （abs） （NW） （DN） 內部 外部 上蓋Assy ø16 ø25 伸縮囊Assy 附磁簧開關 ø40 10−6 附加熱器 〜 10−10 10−11 ø50 附指示器 大氣壓 本體 ø63 高溫規格 ø80 XLA Series CAT.TS140-8A XLA Series 均一的 KF25尺寸的比較 120℃規格溫度分布 烤焙溫度 140 本體1 120 熱傳導率優異 ，本體全體 本體2 100 可達均ㄧ溫度 ， 本體3 ° 80 度 生成物的附著急遽減少。 溫 60 40 加熱器 伸縮囊 20 閥 0 0 30 60 90 時間分 XLA系列的場合 輕量・輕巧化 型式 A