汽车控制系统设计第2章车用传感器.ppt

汽车控制系统设计-传感器篇 冲撞传感器(Crash Sensor)常见形式: 电容式 整体式 表面型 模拟式 压阻式 半导体应变式 金属应变式 压电式 弯曲式 悬臂梁式 剪切式 圆板式 硅半导体型的特点: ⑴利用半导体工艺进行大量生产,以降低成本； ⑵通过硅微加工技术,能实现小型化； ⑶传感部与放大电路能集成化； ⑷性能优秀、稳定，重复性好，可靠性高。 汽车控制系统设计-传感器篇 ㈠电容式冲撞传感器 电极间的电容量取决于相互重叠的面积和间隙,若在两个电极间置入可动电极,就构成了差动式(一个容量增加;一个减小),能提高温度和机体变形的稳定性。 测量方法:⑴将两个电容容量差直接转换成电压输出；⑵用容量差产生电压,将电压施加给梁,使梁处于电容平衡点,即伺服式。 ⑴构造及工作原理 兼作可动电极的惯性质量由两根梁支承,在外框上加工出单晶硅片(固定电极)。 重物受到加速度作用时,梁会产生弯曲变形使容量发生变化,使用专用IC,测出容量变化,输出与加速度成比例的电压信号。 汽车控制系统设计-传感器篇 在质量为m的可动电极上施加加速度a时，位移x，如支承刚度为k，则有： x=ma/k 如X与d相比很小，则有： ε:电介常数，S:可动电极面积 由以上两式可知：容量变化量ΔC和加速度a成正比。 ⑵频率响应 速度由表示惯性质量运动的方程式决定： 其中,λ：空气隙的阻尼系数 F：外部作用力 阻尼系数λ=Bμ/d3 B:电极常数，由Navier-stokes和连续方程式求得，μ:流体粘性系数。 汽车控制系统设计-传感器篇 ⑶惯性质量的设计 冲撞传感器的关键参数是灵敏度，欲增大ΔC，就要加大面积S，减小气隙d，但气隙太小，阻尼系数增大，频率特性降低。可通过减小μ来减低λ。减小表面积可使常数B减小，但要牺牲灵敏度，为此，在可动电极表面开出空气槽。 ⑷温度特性分析 温度变化时，会产生变形，气隙也会变化，改变电容量大小，但差动式的对称结构使ΔC的变化却很小，即不容易受温度等的影响。 汽车控制系统设计-传感器篇 ㈡应变式冲撞传感器 硅压阻式应变片具有灵敏度高的特点。且： ①可应用原半导体压 力传感器的知识和技术； ②信号处理简单，直 接输出电信号，抗干扰 ③制造和IC相似，便 于与处理电路集成。 ⑴构造：为了将加速度 产生的惯性力转换成应 变，在硅片上整体形成 悬臂支承的惯性质量， 并在悬臂上扩散四只应 变片。 汽车控制系统设计-传感器篇 ⑵工作原理：施加加速度a时，应变片部分的应力σx表示为： 则输出电压： 传感器灵敏度由各种参数决定,特别是应变部位厚度h2. 如有阻尼油时有： ⑶频率特性:由振动系统的共振频率fn和阻尼系数ζ决定: ζ= λ/2(mk)1/2， fn= (mk)1/2/2π ⑷信号处理电路：传感器与信号处理电路封装在一起，由于压阻系数的温度特性，灵敏度具有负的温度特性，需要在信号处理电路内加以修正。另备有自诊断电路，故障发生时，能自动诊断并表示出来。 汽车控制系统设计-传感器篇 ㈢压电式冲撞传感器 若作用在压电晶体上的力为F,则产生的电荷:Q=d?F (d为压电变形系数)，如压电元件的电容量为C， 则输出电压:V=Q/C=dF/C=gεF/C 压电式和其他方式一样使用Seism系统，它的输出是压电元件质量的运动而产生的，和作用力成正比，也和加速度成正比。 ⑴根据向压电元件施加力的方法不同，有： ①压缩型(利用纵向应力):将压电晶体置于机体和重物之间,机械强度大,适用于大加速度、冲击测量。但瞬时的温度变化会引起输出变化,不能测量微小信号。 ②剪切型(利用剪切效应)：压电晶体置于悬臂重物和机 汽车控制系统设计-传感器篇 座之间,灵敏度高,漂移小, 应用较多。 ③弯曲型(利用横向效应): 压电晶体置于弯曲梁上, 灵敏度高,可测微小振动, 但结构复杂,成本较高。 ⑵电路组成： ①阻抗变换电路; ②温度补偿电路; ③滤波电路; ④放大电路; ⑤自诊断电路. 汽车控制系统设计-传感器篇 压电式冲撞传感器电路原理框图 微型化是指微机械加工技术，除全而继承氧化、光刻、扩散、沉积等微电子技术外，还发展了平面电子工艺技术、各向异性腐蚀、固相键合工艺和机械分断技术，例如有的NOx传感器就是利用薄膜制作的快速响应的传感器。又如智能化、微型化、多功能化的美国霍尼韦尔公司的ST—3000型传感器，它是一种带有微处理器的兼有检测和信息处理功能的传感器，其芯片尺寸为3×4×0.2mm，用离子注入等半导体工艺在同一芯片上制作差压、静压和温度等三种敏感元件，每个芯片上都用一个专用EPROM，用于存贮其特性参数，作三维补偿用。 汽车控制系统设计-传感器篇 车用传感器和其他传