一种声表面波液体密度传感器的试验研究.DOC

一种声表面波液体密度传感器的实验研究 　　摘　要　介绍了一种新型的表面波（SAW）液体密度传感器的结构，并对其进行了理论分析和初步实验。结果表明：与传统的液体密度传感器相比，这种传感器具有结构简单、测量精度高、需用试样少等特点，具有广泛的应用前景。　　关键词　声表面波　液体密度　传感器 0　前　言　　密度是物质的重要特性参数之一，液体密度的测量是石油、化工、环保及生物医学等领域中进行物质鉴别和计量的一种重要方法。近年来，用于液体密度测量的传感器的种类繁多。随着科学技术的不断发展，对微量液体密度的高精度测量已十分必要，因此，对液体密度传感器的要求越来越高。随着声学技术的发展，近年来出现了一系列SAW传感器，如：温度、压力、加速度及气体密度传感器等。但对于一般的声表面波器件，由于当SAW延迟线上有液体层存在时，SAW会发生严重的衰减，以致于很难得到合适的接收信号，因此，一般的表面波器件难以用作液体密度传感器。　　Martin等人［1,2］研究了使用声板波（APM）传感器来测量液体密度，这种传感器只考虑待测液体和声板波器件的界面作用，测量精度高，但要求晶体两面抛光，且两面必须有极其严格的平行度，同时，APM的频率一般比SAW的频率要高得多，因此，APM传感器制作比较困难，电路结构复杂。文献［3］报道了表面漏声波（L-SAW）器件可用于液相环境下测量，但一般的L-SAW在传播方向上的有效传播路径非常小，因此，用做液体密度传感器也不太适合。理论分析表明：水平剪切型表面波（SH-SAW）如B-G波或SSBW可用于液相传感器。本文在有关工作的基础上，提出了一种基于SH-SAW声模式的液体密度传感器，并对其进行了初步实验。 1　基本原理　　SAW液体密度传感器的结构原理,如图1所示。压电基体上有少量液体，液体层只占SAW延迟线的一部分，上侧固体平行于基体表面，通过毛细作用将液体保持在基体表面上。一般叉指电极（IDT）在电信号激励下可激发出沿晶体表面传播的表面波（SAW）模式和向晶体内传播的体声波（BAW）模式，体声波在到达晶体背面时，被吸声材料所吸收，因此，和液体介质作用的只有表面波，输出叉指电极接收到的也主要是表面波。 图1　表面波液体密度传感器结构原理 　　Lec［4］讨论了理想液体情况下SAW的传播，认为：由IDT激发的SAW沿晶体表面传播，遇到液体介质时，由于液体的声速小于晶体的声速，就有一个背离晶体表面指向液体的波矢，SAW能量的主要部分以一定的角度辐射入液体中，形成液体内压缩体波，该波在液体中传播，在上侧固/液界面发生反射，反射波到达晶体表面时，又转变为SAW，传至输出IDT。根据液体层厚度的不同，声波可能经历一次或多次反射，反射次数的不同及液体性质如密度等的任何变化，均会改变液体中声波的传播特性，从而，改变器件响应。在这种情况下，声波是在液体中传播，而不象APM那样只是简单地在固/液界面发生作用，因此，它对液体特性的微小变化有可能更为敏感。　　然而，对于实际的粘弹性液体，表面波转化为压缩体波在液体内传播时，由于粘滞损耗，声波会发生严重的能量衰减，因此，很难接收到有效信号。按Lec的理论，液体层厚度的变化会改变器件响应，对此笔者进行了简单实验，发现改变液体层厚度后，器件响应并没有发生预期的变化。所以，可以认为Lec的理论对实际的粘弹性液体难以适用。　　近年来，许多学者对表面波器件用于液体环境下测量进行了研究［5～7］，综合国内外研究结果，表面波器件能够用于液体环境下测量的基本要求是：(1)有较大的表面水平剪切（SH）位移；(2）传播能量限制在晶体表面；(3）机电耦合系数较大；(4）压电晶体的温度系数较低。大多数SAW传感器是利用叉指电极在压电基体上激发瑞利波，瑞利波的能量主要集中在晶体的表面，瑞利波的粒子位移有两个分量，一个是沿传播方向平行于表面的切向分量，它与液体介质会发生粘性作用，在界面的法向没有分量，在液体中不会引起振动；另一个是垂直于表面的纵向分量，纵向分量（垂直分量）在液体介质中会产生相应的压缩波，声能量辐射入液体层，引起声波衰减。因此，欲使SAW器件能用做液体密度传感器，就必须激发其水平位移分量，而抑制垂直位移分量。这样，SAW在与液体介质接触传播时，就不会发生模式转换而产生严重的能量衰减。由叉指电极激发的具有水平剪切位移的SAW（SH-SAW如：BG波或SSBW）其粒子位移主要具有剪切分量，而垂直分量则很小。图2为具有水平剪切位移的声表面波（SH-SAW）原理图。由图可见，声波在晶体表面上传播时，只在平行于晶体表面且垂直于传播方向上有位移分量，在垂直于晶体表面方向上没有位移分量，因此，如假设晶体表面和液体层之间没有滑移，则SAW在与相邻液体介质作用时，只能通过粘弹性作用，引起液体介质中粒子的粘性拖动，而不