无限宽条坟莫尔偏移图在莫尔测偏法中的应用.pdfVIP

第18卷第3期 仪 器 仪 表 学 报 v01．18 №3 1997年 6Yl CHINESEJOURNALOFSCIENTIFICINSTRUMENT June 1997 一 无限宽条坟莫尔偏移图在莫尔测偏法中的应用 川 ， 法 l 立 ，骺圜 王伯雄施宇清 (清华大学精密仪器系 北京 100084) 物体和镜反射物体引起的光线偏折图像(莫尔偏移图)，光线偏折图像不同于相位滞后 ，它不需 要知道真正的相位。此外，莫尔测偏法对光源只要求空间相干性，不要求时间相干性 ，因此测量 装置相对简单，对机械稳定性的要求不象干涉法那样要求达 1／10，造价低廉，尤其适用于灵敏 度不很高且有噪声的现场检测。 图 1 莫尔测儡仪原理 图 图2 反射物体 图1所示莫尔测偏仪由光源和两块具有相同节距P的Ronehi光栅构成，两光栅G。、G 以 间距 d平行放置，其栅线相对于x轴各形成 o／2和-0／2的倾角。0≠0时所形成的莫尔偏移图 称有限宽条纹莫尔偏移图，而把 e=o时产生的图称无限宽条纹莫尔偏移图。传统的奠尔测偏 法对莫尔偏移图采用图像数字化技术进行评价 ，其精度较低，图像处理速度慢。本文介绍 一 种基于相移和相位计算的莫尔测偏法，可极大提高测量精度和速度。 * 目家自然科学基金贾助项 目．本文于 1995年 7月收到。 第 3 期 无限宽条纹莫尔偏移图在莫尔测偏法中的应用 1 无限宽条纹莫尔测偏法 如图1，将一个镜反射物体置于上述光学系统中，准直光从反射物表面反射后产生偏折， 光线偏移角中(x，y)同表面高度H(x，y)有如下关系(图2) 中(x．y)一 (1) 可见要确定反射物体的表面高度的关键是如何求取偏移角中(x，y)。 本质上，莫尔条纹轮廓为方波，可展开为如下傅里叶级数的形式 … 一 ”一 ‘ 1 2 … [z +吾+訾+ + z 式中x／p和yO／p分别为两光栅的相对位移和转动引起的相移量，x为x向的栅线偏移 量，中(x，y)为光线偏移角，s／p为一块光栅在X方向的移动距离s引起的附加相移。 为减少光衍射效应 ，光栅间距d须满足Talbot距离，即； d—Tip2 l ^ 一1，2，3…… (3) 式中 为光源波长。 式 (2)中的分项 反映的是有限宽莫尔条纹偏移图中两光栅夹角0变化和在 y方向移动 所引起的相移量，几何上表示了一个倾斜的附加平面。而在无限宽莫尔条纹偏移图中，由于0 — 0，因而 为零，这带来另一个好处是两光栅在测量过程中y向上的光栅偏移不会引入测量 误差。将式 (3)代入式 (2)且考虑到9=0，则有 一 i1十g妻 cos[zn+”c吾+ + ㈨ 上式中的 芝； 一项当n增加时衰减很快，因而对整个信号的影响很小，可只取n= 0一项来近似 I(x，y) ，即 I，( {+c 。s[c吾+ +三)] ㈣ 将公式 (5)进一步一般化为； I(x，y