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HO(美国)公司简介.DOC
Aspex 扫描电镜性能及优势
——Excel独家总代理,代表陈向民(MR.TIM CHEN美国ASPEX扫描电镜-能谱仪系统产品特点:高放大率图像,快速无损元素分析,强大计算机自动控制,使用成本低,样品分析导航。仪器型号Aspex eXplorer SSX-550 Inspect 制造厂商美国 Aspex日本岛津 SHIMADZU美国 FEISEM 扫描电镜主机分辨率 7nm(WD=8mm)3.5nm(WD=8mm)3.0nm(二次成像)
4.0nm(背散射)压力连续可调30nm(WD=8mm)30nm(二次成像)加速电压 0.2-25kV 0.5-30kV 200V-30kV10V/步放大倍数20~250,000 20~300,000 倍探测器SED, Quad BSED(标配)SED 标配 BSED 选配SED 标配,BSED 标配真空系统涡轮分子泵+机械泵
无需冷却水及压缩空气扩散泵+机械泵
(需冷却水及压缩空气 )涡轮分子泵+机械泵
灯丝寿命平均150 小时
(高达 200-400 小时)100 小时样品台移动(X,Y)80×100mm 80×40mm 50×50mm (Z)手动40mm 最大 50mm(手动 25mm)(倾斜)-70~45°-30~60°-15~75°样品台驱动方式四轴马达台轴马达台四轴马达台样品最大尺寸153mm Φ125mm 284mm EDX 能谱仪EDX 装置结构EDX/SEM 一体化EDX/SEM 一体化Oxford 分体探测器SDD ED (UTW BW)UTW EDX 选配需液氮需液氮Peltier 效应(无需液氮)EDX 取出角35° 35° 能量分辨率133eV 144eV 检测元素(5)B ~(92)U (5)B ~(92)U SEM/EDS 控制模式1 台 PC1 台 PC 台 PC操作软件GSR 专用软件 .符合国际标
准 ASTM E1588 同时分 析
SEM 和 EDS.全自动无人值守特征分析通用软件
需两套不同软件
通用软件显示器 20”LCD”SVGA 19”LCD 供电方式 220V,50Hz
无需另配变压器110V,50Hz
需另配变压器230V,50hz重量 300 公斤0 公斤:
1、从硬件到软件,真正实现扫描电镜和能谱仪完全一体化
2、采用 GSR 专用分析软件,符合国际标准 ASTM E1588,单一软件平台同时分析 SEM 和 EDS,实现全自动无人值守特征分析
3、探测器配置齐全,SED, Quad BSED 和 SDD EDX 均为标准配置
4、能谱仪采用 SDD 探测器,分析速度快;不需液氮,日常使用成本低
5、高真空系统的压力可调,不需要真空镀膜仪等
6、采用先进的涡轮分子泵实现真空,无需冷却水和压缩空气系统
7、电源适于中国使用,无需另配变压器
8、模块化设计,预封装式灯丝和镜筒(专利技术)可直接更换,无需技术人员上门服务。
9、结构紧凑,体积小,重量轻。
1、关于电镜放大倍数
扫描电子显微镜(SEM)的放大倍数是仪器各部件指标的叠加,是一个计算值,在实际工作中并无太大的实际意义,原因是这样的:
钨灯丝 SEM 的分辨率目前可达 3.0nm,这一指标已经是该类仪器(钨灯丝)的极限值了。但根据钨灯丝 SEM 分辨率的标准,并不意味着放大倍数越高,分辨率就越好,所以 SEM 的放大倍数必须与实际条件相结合,选定一个合理的放大倍数。过高的放大倍数,只会导致“空放大”,而且图像会很不清晰。所有钨灯丝 SEM的实际使用放大倍数都集中在 700-800 倍以上至 10000-20000 倍以下,超出这个范围,都无法充分体现出电镜追求“高真空、低加速电压条件下样品表面的形貌特征观察”的最根本初衷。所以,上述表格中放大倍数的差距仅仅是指标的差距,在实际使用中各公司产品并无明显差异。
另外,在实际 GSR(射击残余物)分析中,一般弹痕颗粒都大于 0.5 微米,使用 900 倍的放大已足够,因此 3.5nm 的分辨率实际上是不需要的,在 GSR 分析中,7nm 的分辨率都显得过大。
2、SEM 与 EDX 的组合
Aspex 和岛津公司的产品都是 SEM 和 EDX 由同一家公司生产,SEM 和 EDX使用同一套电脑控制。但岛津公司的 EDX 需要液氮冷却,而 Aspex 则采用 SDD 探测器,不需要液氮。
3、真空系统的优势
Aspex 的真空系统采用先进的涡轮分子泵+机械泵,结构简单,性能优越,而岛津公司采用扩散泵则需要复杂的冷却水和压缩空气系统。与传统的 SEM 正好相反,Aspex 采用专利技术,将真空控制置于电子枪处,因此可以获得极其稳定的电子束,从而实现长时间、无人值守的自动化分析。稳定的电子
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