奈米线基本制程简介.PDF

奈米線基本製程簡介 Outline ˙工作原理 ˙工作原理 ˙操作方式 ˙週邊設備介紹 ˙操作方式 ˙週邊設備介紹 真空PUMP 置放substrate 高溫爐控制面板 流量控制器設定 真空計流量計 清理石英管 氣瓶區 溫度控制器設定 製程結束 ˙注意事項 ˙注意事項 ˙參考資料 ˙參考資料 工作原理 工作原理 •奈米線製程主要是利用VLS (vapor-liquid-solid)機制所合成 的 ，如下圖所示 過飽荷析出奈米線 Vapor 融化合金液體 觸媒(固態) 基板 加熱基板 基板 通入氨氣與金屬蒸氣則可形成氮化物半導體 週邊設備介紹 週邊設備介紹 (真空PUMP) Back to outline Back to outline PUMP油氣管 PUMP排氣孔 破真空閥 開關 高溫爐抽氣管 高溫爐廢氣管 電源線 PUMP抽氣孔 週邊設備介紹 週邊設備介紹 (高溫爐控制面板) 石英管 高溫爐 流量控制器 Back to outline Back to outline 週邊設備介紹 週邊設備介紹 (高溫爐控制面板) 電源燈 緊急停止按鈕 開關 溫度顯示器 RS485輸入端 Back to outline