300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计 Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter.pdfVIP

下载本文档

69
0
约 5页
2017-08-12 发布于上海
举报
版权申诉

300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计 Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计 Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter

m 300m离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计谢均宇，杨亚兵，孙勇 (北京中科信电子装备有限公司，北京101111) 摘要：在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上，阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能：介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路，在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上。引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。 PMAC；有限状态机关键词：晶圆传送系统；自动控制；机械手；Tu而o 中图分类号：TN305．3 文献标识码：B Control forWaferTransmitter Design System of300mmIon Implanter XIE Jun”，YANGY￡lbing，SllnYong Elec咖ics (BeiJillgzIIongKexinEquil珊锄tCO．，LTD，10“ll，China) onnleachievementofWafIer Abst船ct：Thisbased T啪smitter盯stem’s p叩er the the劬ctionofl(inematic iIl仃oducestlleideaoftlleintclli— rcspectiVely锄d configuration锄d parts matadhibit Multi—AxisControlleralldRobot觚n gentizedsystem PrograIIl】啪ble module，andmodeling 谢ththeideaof state FSM(finitemachine)． Keywords：WafcrT砌smitter；10nImplanter 离子注入机是半导体离子掺杂工艺线的关键传输控制系统，是整机控制系统一个重要组成部设备之一¨，随着市场上对半导体器件的要求的提分，直接决定了整机的生产效率和可靠性。高，对离子注入机的综合要求也越来越高。要求离目前，300姗离子注入机已经成为国际高端集子注入机具有：整机可靠性好、生产效率高、多种电成电路生产线采用的主流机型，北京中科信电子装备荷态离子宽能量范围注入、精确控制束注入能量精有限公司作为国内离子注入机制造的领航者，为适应度、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控大规模生产线工艺要求率先成功研制出300mm大角制、注片均匀性和重复性好等多种功能和特征。这度中束流离子注入机。本文要介绍的就是这台离子一切都直接受控制技术的影响，而其中的靶室晶圆注入机上的300mm靶室晶圆传送控制系统，包括收稿日期：2010Ⅲ4．14 万方数据 ■=口型鲤型塑些塑唑堂些型型团墨銎基塑：王堇皇墅童：：王堇到亟各个运动部件、硬件模块的选用及软件模块的设三片晶圆，右机械手又将定位台上的晶圆取走，左机械计。与以往的国产机型相比，这套系统除了达到