300mm立式炉恒温区测量系统的设计与实现 Flat Zone Temperature Design and Realization for Measurement System 300 mm Vertical Furnace.pdfVIP

团■ j‘ 量 豳 测试测量量技夔术与设塑备鱼 300mm立式炉恒温区测量系统的 设计与实现 王 艾 ．徐 冬 (北京七星华创 电子股份有限公司集成 电路工艺设备研发中心，北京 101312) 摘 要 ：针对 300mm 立式炉设备恒温 区测量的需求 ，设计并实现 了一套恒温 区测量的软硬件 系 统。硬件 系统 由电机 、电机驱动器、PLC模块、工控机、热 电偶等组成。同时为 了更加灵活方便的操 作恒温 区测量装置，设计 了一套完整的控制软件 系统 ，实现热电偶的 3种运动控制模 式，显示热 电偶 当前的状态——运动速度、位置、温度 ，保存温度 、位置等数据。恒温区测量实验表 明，该系统 能满足立式炉设备恒温区测量功能的需求．现 已成功应用于300mm 立式氧化炉设备 关键词：立式炉：恒温区：PLC 中图分类号 ：TN305．4 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2012)03．0027．04 FlatZoneTemperatureM easurementSystem DesignandRealizationfor300mm VerticalFurnace W ANGAi，XU Dong (icProcessingEquipmentRDCenter，BeijingSevenstarElectronicsCo．，Ltd．，Beijing101312，China) Abstract：For the technicalrequirements of 300 mm ve~icalfumace fiat zone temperature measurement，ahardware and softwaresystem wasdesigned and realized．Thehardware system consistedofmotor，motordriver，PLC，IPC，thermocouple．In ordertooperatethemeasurement deviceconveniently，acontrolsoftwaresystem wasdeveloped．Thesoftwaresystem couldperforlTlthree movemodesofthethermocouple，displaycurrentstautsofthethermocouplesuchasspeed，position， temperautre， and save data．Finally，the flatzone temperature measurementexperimentresults indicatedthattheconrtoIsystem couldsuccessfullymeettherequirementsof300mm verticalfurnace． Keywords：VerticalFurnace：FlatZone：PLC 立式炉是 300lrlrn集成 电路制造 的重要工 摄 氏度至上千摄 氏度。在工艺过程中，立式炉需 艺设备，适用于集成电路制造过程中氧化、退火、 形成一定温度范围内稳定可控 的恒温区，要求满 薄膜生长等工艺。立式炉的工作温度一般为数百 足均匀性，以及快速响应要求，并对建立的恒温 收稿 日期 ：2012．03。02 万方数据 测试测量技术与设备 电 子 工 业 专 用 设 苗 ■ 区的长度也有一定的要求，用 以保证硅片的工艺 质量…。 立式炉本质上是一种半导体工艺热处理设 备，加热器作为核心部件，其性能直接决定工艺效 果。从加热器控制 (HeaterContro1)的角度上说，加 测 热器的设计 (He