CAXA实体设计解决单晶炉复杂钣金件展开曲线 CAXA 3D Software Designed the Spreading Curve of the Plate Party for the Signal Crystal Furnace.pdfVIP

电子 工 业 专 用 设 备 制造设备 Eguipment for Electronic Products Manufacturing IC CAXA 实体设计解决单 晶炉 复杂银金件展开 曲线 楚 波 西安理工大学晶体生长设备研究所 陕西 西安 ! 7 10048 # ! ! 摘 要 利用CAXA 实体设计软件 在单晶炉设计中解决与炉盖椭球封头相贯的钣金件展开曲线 的画法 关键词! 实体设计 单晶炉 椭球封头 钣金件展开曲线 CAXA ; ; ; ; 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! TN391.72 B 1004-4507 （2007）03-0057-03 CAXA 3D Software Designed the Spreading Curve of the Plate Party for the Signal Crystal Furnace CHU BO （The Crystal GroWing Eguipment Research Institute Run by Xian Universtity of Technology, Xian 710048, China） Abstract : The spreading curve of the plate party designed With the CAXA 3D softWare, connects itself With the furnace top chamber Which is a ellipse sphericity perfectly and smoothly. ! Keywords CAXA 3D designeing; Signal crystal furnace; Ellipse sphericity chamber; The spreading curve 西安理工大学 晶体生长设备研 究所是 国 内单 机械设计 中银金件展开 曲线较复杂 ，采用通常做 图 晶炉 的专业设计 、生产单位 。 设计生产 的单 晶炉在 的方法对一些简单银金件有效，但对于复杂银金件 国内处于领先水平 ，为我 国半导体材料发展作 出了 则较难作 出，而且作 出的银金 曲线与实际 曲线有差 不可忽视 的贡献 。近年来随着 CAD 技术 的应用 ，在 1） 别 ，主要原因是不容易作 出银金件 的相贯线 。 图（ 利用计算机进行设计方面大大提 高 了工作效率和 为单 晶炉通用炉盖形式 ， 在单 晶炉炉盖观察窗 内、 设计质量 ，在研发 中我所 引进 了具有 自主知识产权 外壁 的设计 中， 由于炉盖形状 为椭球封头 ，观察 窗 的国产制 图软件 CAXA 。CAXA 实体设计好学易懂 内、外壁形状为两边 圆弧 ，中间直边 的跑道型结构 ， 且功能齐全 ， 为机械工程师提供 了一个 良好 的工 并且与封头成一定角度相贯 ，由于使用通常