CCD图像传感器在光栅传感器中的研究与应用 Discussion about Application of CCD Image Sensors in Grating Sensors.pdfVIP

Des酥，，， CCD图像传感器在光栅传感器中的研究与应用’ Discussion Senso传 I枥军平吴欣慧器长海安阳工学院电子信息与电气工程学院(河南安阳455000 纹间嗝西，光电}{}收元件将奠尔蘩纹 ■■：奉文基于竞柑停毒嚣．提女借助ccD图像传毒嚣代苷特犍的磕先电 的丑目暗强弱变化转换为电堑输H{，该 池对其尔景致进行槛珊，完成7馆号的自分．并“位移的潮量为制。妾现 正弦媸经接jB为方技n：一个完整的 7时牲秽的南精廑潮量。 关悯·ccD圉悼特毒嚣；把擗特感嚣；箕尔备垃；妇分；南精度测量 光栅测量系统中，后圾屯路(往往是 2011．04．Ⅲ 出单片机为辕心)接收违信毋后．根 DOI：10．3969，{i∞n．t∞5-5517 据两路戬争路信碍啦咐序天系判*q运 皋完于jlll年3月∞日救到榜军平：讲*．主鲁“事电子科学与技术辆域靖兜柚方向，并报杯方坡个数判断他移。 基空责自目南省耗宵月科枝垃*赍∞Ⅲ目f，_mcjlIMMIlJ 光僻艘字传感器的耐生分辨韦等 十一个蜘距。担是．在硝窿幢捌K，常 光■俺毫矗聃耜结掏 角度的高精度测世。罔此，若利用光 常需耍涎琏比栅距更小的位侈墨．为 光栅传醯器基本结掏及原理 船韬南目1虽他移或角度．可{q用光电 了提高丹彗}率可H采用两种方往空 光栅传感器的作用是能够实现 元件测出奠尔条纹的移动趟过味冲 现：1)增加刻线密度采减小栅距，髓 精密测量儿测量砸理建立靠萸尔条 计数擗到靡毋。 是这种方洼受光栅划线下Z妁限制t 纹的基础上。南十光翦+涉效应．将 姐系统结掏殛工作方式 2)采用纽分技术．花葚尔条纹窒化 等栅距的两块光栅以触小夹角亚叠在 以总移酬量为例，通常光钿俦 周硝时．不只辕出一个咏冲．而是输 一起．可以看剑在赶似瞻枷墁方向 噶措是南光路系统、一对光孵副，与 由若千个脉冲．以减小咏冲当毋．据 上卅观州暗榍间的条纹．林为奠尔条 拼示光栅相对位置固定的光电接收元 离分晰力，细分的方法有多种．如直 纹．蜘剐l所4cB为葜尔条纹闻龋． 件、整形绷分电踟砬．当光栅副中 接细分、电桥细分锤相细分．调制 腩光ⅫⅫ目 任一先鼢培难直于刻线方q_簪动时， 信号细分和软件细分等。下葡介锕论 Ⅳ Ⅳ 一 奠尔条控 文采用的4僻直接细分的情号处理过 ”了2百(1) 壮叠滑近 程。 似乖^于 恨据羹尔条纹的性质．光电元忙 光栅线夹堵日小．其扛条纹 光朋移动 J“生的信寻证J【；【为正弦渡一“B为两 宽伽越大，‘日当于把Ⅳ胜人，l／p 的方向运 个光电元件使^、B的也霞相距l／4B 格，大大的提高了碱强丑敏度，也方 动。当光 耶A^、B输出的正弦信母相俺尊Ⅱ 垭了光电元性的放置；