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Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films
C02Z软磁铁氧体薄膜的磁性能
郝思坤,黎伟,孟卫民,白建民,杨正,魏福林
(兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所,甘肃兰州730000)
摘要:首先用球磨法制备了BaxC02Fe2404l铁氧体粉料,烧结后制得块体材料,然后以其为靶材,用射频
磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100rim的铁氧体薄膜.实验表明,沉积态的薄膜为非晶态结构,
经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。
通过对热处理温度和氧分压的调整,制备出性能较好的Ba3C02Fe24041薄膜,饱和磁化强度为46.8A-mZ/kg,矫
顽力为7.3kAfm。
关键词:Ba3C02Fe2404l;铁氧体;薄膜;溅射;热处理;磁性能
中图分类号:0484.4+3 文献标识码:A 文章编号:1001.3830(2011)03.0013.04
of ferritethinfilms
C02Z
Magneticpropertiestype
HAO Fu-lin
Si—kun,LIWei,MENGWei—ming,BAIJian—min,YANGZheng,WEI
and Materials Institute
Key Magnetic of
LaboratoryforMagnetism oftheMinistryofEducation,Research
Materials,SchoolScience&Technology,Lanzhou730000,China
Magnetic ofPhysical University,Lanzhou
of ferriteswere ball methodandbulkmaterials
BaxC02Fe2404
Abstract:Firstly,powders preparedby milling
were the thebulkmaterialswereusedas forthis
preparedbysinteringpowders.Then targets experiment.
ferrite 100mnhavebeen RF
filmswiththicknessof onSisubstrate
Ba3C02Fe24041 deposited by magnetronsputtering.
indicatedthatthe filmswere inairatdifferent
Experiments as-deposited amorphous,after
annealing temperatures
Wasformed.Theinfluenceof and of onthe
magnetoplumbitephase composition,
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