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Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films.pdfVIP

Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films.pdf

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Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films

C02Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 郝思坤,黎伟,孟卫民,白建民,杨正,魏福林 (兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所,甘肃兰州730000) 摘要:首先用球磨法制备了BaxC02Fe2404l铁氧体粉料,烧结后制得块体材料,然后以其为靶材,用射频 磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100rim的铁氧体薄膜.实验表明,沉积态的薄膜为非晶态结构, 经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。 通过对热处理温度和氧分压的调整,制备出性能较好的Ba3C02Fe24041薄膜,饱和磁化强度为46.8A-mZ/kg,矫 顽力为7.3kAfm。 关键词:Ba3C02Fe2404l;铁氧体;薄膜;溅射;热处理;磁性能 中图分类号:0484.4+3 文献标识码:A 文章编号:1001.3830(2011)03.0013.04 of ferritethinfilms C02Z Magneticpropertiestype HAO Fu-lin Si—kun,LIWei,MENGWei—ming,BAIJian—min,YANGZheng,WEI and Materials Institute Key Magnetic of LaboratoryforMagnetism oftheMinistryofEducation,Research Materials,SchoolScience&Technology,Lanzhou730000,China Magnetic ofPhysical University,Lanzhou of ferriteswere ball methodandbulkmaterials BaxC02Fe2404 Abstract:Firstly,powders preparedby milling were the thebulkmaterialswereusedas forthis preparedbysinteringpowders.Then targets experiment. ferrite 100mnhavebeen RF filmswiththicknessof onSisubstrate Ba3C02Fe24041 deposited by magnetronsputtering. indicatedthatthe filmswere inairatdifferent Experiments as-deposited amorphous,after annealing temperatures Wasformed.Theinfluenceof and of onthe magnetoplumbitephase composition,

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