Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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Co2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能 Magnetic properties of Co2Z type ferrite thin films

C02Z软磁铁氧体薄膜的磁性能郝思坤，黎伟，孟卫民，白建民，杨正，魏福林 (兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所，甘肃兰州730000) 摘要：首先用球磨法制备了BaxC02Fe2404l铁氧体粉料，烧结后制得块体材料，然后以其为靶材，用射频磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100rim的铁氧体薄膜．实验表明，沉积态的薄膜为非晶态结构，经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。通过对热处理温度和氧分压的调整，制备出性能较好的Ba3C02Fe24041薄膜，饱和磁化强度为46．8A-mZ／kg，矫顽力为7．3kAfm。关键词：Ba3C02Fe2404l；铁氧体；薄膜；溅射；热处理；磁性能中图分类号：0484．4+3 文献标识码：A 文章编号：1001．3830(2011)03．0013．04 of ferritethinfilms C02Z Magneticpropertiestype HAO Fu-lin Si—kun，LIWei，MENGWei—ming，BAIJian—min，YANGZheng，WEI and Materials Institute Key Magnetic of LaboratoryforMagnetism oftheMinistryofEducation，Research Materials,SchoolScience＆Technology,Lanzhou730000,China Magnetic ofPhysical University,Lanzhou of ferriteswere ball methodandbulkmaterials BaxC02Fe2404 Abstract：Firstly,powders preparedby milling were the thebulkmaterialswereusedas forthis preparedbysinteringpowders．Then targets experiment． ferrite 100mnhavebeen RF filmswiththicknessof onSisubstrate Ba3C02Fe24041 deposited by magnetronsputtering． indicatedthatthe filmswere inairatdifferent Experiments as-deposited amorphous，after annealing temperatures Wasformed．Theinfluenceof and of onthe magnetoplumbitephase composition，