MEMS压力传感器的可靠性评价方法 Reliability Evaluation Methods for MEMS Pressure Sensor.pdfVIP

下载本文档

55
0
约1.54万字
约 6页
2017-08-12 发布于上海
举报
版权申诉

MEMS压力传感器的可靠性评价方法 Reliability Evaluation Methods for MEMS Pressure Sensor.pdf

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

MEMS压力传感器的可靠性评价方法 Reliability Evaluation Methods for MEMS Pressure Sensor

MEMS压力传感器的可靠性评价方法鲍芳1．张德平2 (1．苏州中咨工程咨询有限公司，江苏苏州215008； 2．工业和信息化部电子第五研究所，广东广州 510610) 摘要：MEMs压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件，是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统．因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能．还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象．并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。关键词：压力传感器；机械结构；可靠性评价 212．4+l 中图分类号：TP 文献标志码：A doi：10．3969，j．issn．1672—5468．2013．05．015 for Pressure EValuationMethodsMEMS Reliability Sensor BAo Fan91，zHANGDe—pin矿 CIECC 21 Co．，Suzhou5008，China； (1．SuzhouEngineeringConsulting 510610，China) 2．CEPREI，Guangzhou MEMS a kindofmicm—mechanicaldevicemanufacturedin Abstract： pressuresensor， semiconductor isa v撕ous andchemical lines， complexsystemcontainingphysicaLl processing the mechanicalstructuresandmechanicsofmaterialsasweUasthe theories．Obviouslv，special electrical mustbeconsideredtoevaluatethedevice’soverall Themost propenies reliability． occurredintheuseofMEMS sensorsaredescribed．Somecommon commonfailureevents DDessure evaluationstandardsand areint南duced． I．eliability testingp玎ojects mechanical evaluation wOrds： sensor； structure； Key pressure reliability O 引言到的测试与验证数据也较少，缺乏标准和规范。由